디에스테크노, 내열성 높은 'CVD-SiC 웨이퍼 보트' 국산화 작성일 03-10 132 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="usi9le8tHd"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="5f69ca89055f911cc0ee51ebd0ec4898d3157580379508c74ac9dbe7ef1e4bd9" dmcf-pid="7On2Sd6F5e" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="디에스테크노 CVD-SiC 웨이퍼 보트" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202503/10/etimesi/20250310163106144mmjf.png" data-org-width="525" dmcf-mid="UM5O6HSgHJ" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202503/10/etimesi/20250310163106144mmjf.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 디에스테크노 CVD-SiC 웨이퍼 보트 </figcaption> </figure> <p contents-hash="aa2e9d4a6d19a5cd6db4bed8248f19492a8b71ab9dba045ca271890928687dc4" dmcf-pid="zILVvJP35R" dmcf-ptype="general">디에스테크노가 화학 기상 증착-탄화규소(CVD-SiC) 웨이퍼 보트와 튜브를 국산화하는데 성공했다. 고온 공정 증가에 따라 수요가 늘어나는 소모성 부품으로 공급 확대가 기대된다.</p> <p contents-hash="e8e710fe123bb11394a3f50f2dc6b1dc891907f3640a97e51213c4e1f2217aca" dmcf-pid="qCofTiQ05M" dmcf-ptype="general">10일 업계에 따르면 디에스테크노는 해외 전력반도체 장비사에 CVD-SiC 웨이퍼 보트 양산 및 공급을 시작했다. 회사는 웨이퍼 보트와 함께 쓰이는 튜브 품질 평가도 진행 중으로 연내 양산에 돌입할 계획이다.</p> <p contents-hash="f63ffbd454075827caafa671bf8e2fdbb9de0be97a40a30377e3d514a84f18ca" dmcf-pid="BFCgusc6Yx" dmcf-ptype="general">웨이퍼 보트는 반도체 공정 장비 내에서 다수의 웨이퍼를 고정하는 부품이다. 여기에 튜브로 씌운 뒤 고온, 고진공 환경을 만들어 공정을 진행한다.</p> <p contents-hash="cdb0bce74cf867ccba812eb10712c279abe8c44ba738c33c56402907d9af8ab1" dmcf-pid="b3ha7OkPXQ" dmcf-ptype="general">CVD-SiC 부품 수요가 발생한 건 공정 온도 증가 때문이다. 일반적으로 고온 공정은 1000도 미만이었으나, 전력반도체를 중심으로 고온 공정 온도가 최대 2000도까지 상승했다. CVD-SiC는 기존에 업계에서 쓰이던 반응성 결합-탄화규소(RB-SiC)보다도 내구성·내열성이 더 우수한 소재다.</p> <p contents-hash="1c0174354471d11dd753edc6ba0036217152ce18a056539ad1856ab47304e9f7" dmcf-pid="K0lNzIEQtP" dmcf-ptype="general">CVD-SiC 웨이퍼 보트·튜브는 일본 페로텍, 미국 쿠어스텍 등 외국 기업이 기술 개발을 주도해왔는데 디에스테크노가 국내 기업 중 처음으로 시장에 진입하게 됐다.</p> <p contents-hash="9ab228a5e1c0cfa8d002b2f46508550efe23f7c214cc6583793e961b069ca1b5" dmcf-pid="9pSjqCDxX6" dmcf-ptype="general">그동안 국내 CVD-SiC 소모성 부품 개발은 웨이퍼를 고정하는 포커스링, 가스를 웨이퍼에 균일한 두께로 분산·증착하는 샤워헤드에 집중된 것으로 전해졌다.</p> <p contents-hash="ae5fa85bfd4f6acc4bedfc1df566863cd6f743826f5d19b7fef3cae80a3e081a" dmcf-pid="2UvABhwMZ8" dmcf-ptype="general">디에스테크노는 기존 쿼츠 웨이퍼 보트와 튜브를 생산한 노하우를 기반으로 CVD-SiC 웨이퍼 보트와 튜브 개발을 2023년 시작했다. 전력반도체에서의 수요에 선제 대응해 6~8인치 제품 개발을 먼저 진행했고, 현재 12인치 제품도 개발 중에 있다. 시스템반도체도 선단 공정을 중심으로 온도가 높아지고 있어서다.</p> <p contents-hash="e896828c403199368153bc9b9f23575deb4155716e06cc6c39f847953bf6e315" dmcf-pid="VuTcblrRG4" dmcf-ptype="general">회사는 올해 CVD-SiC 웨이퍼 보트와 튜브를 40세트 가량 출하할 것으로 예상하고 있다. 3~4개월 사용 가능한 소모성 부품인만큼 수요는 점진적으로 더 늘어날 것이라고 설명했다. 세계 시장 규모는 약 4000억~6000억원 규모로 추산된다.</p> <p contents-hash="5567deda0916eb66e09e0d7f36e87a6faee61360e697eabc50eab4494fc40be9" dmcf-pid="f7ykKSmeGf" dmcf-ptype="general">디에스테크노는 장비사뿐 아니라 반도체 제조사에도 직접 부품을 공급해 매출을 극대화할 방침이다. 이미 기술력을 인정받아 삼성전자, 인텔 등으로부터 전략적 투자까지 이끌어낸 데 따른 자신감이다.</p> <p contents-hash="70ed400869154e7e8eb9ce4d1d2b6976de1aca7e27d22742d61cb9269b45fba1" dmcf-pid="4zWE9vsdYV" dmcf-ptype="general">회사 관계자는 “전기차(EV) 시장이 캐즘 국면에 있으나 인공지능(AI), 데이터센터 등으로 인해 전력반도체 시장 성장이 지속될 것”이라며 “이에 맞춰 CVD-SiC 제품군을 다양화하는 과정에 있다”고 말했다.</p> <p contents-hash="2b5c10bcdb6b996081a52ec687c293c835b9eb63d2214bdd695cf25ba7e3fd1d" dmcf-pid="8Zmi3DaV12" dmcf-ptype="general">박진형 기자 jin@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 네오플, 온라인 쇼케이스 통해 2025 '던파 모바일'의 방향성 제시 03-10 다음 `나혼렙: 어라이즈 돌풍` 넷마블네오...IPO 도전 `본격화` 03-10 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
