중국판 EUV 예고에 SMIC 5나노 양산설…반도체 업계 '술렁' 작성일 03-31 119 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="GhtrtrUlWQ"> <p contents-hash="0390f4f84a76c1fa40f79399195d07decd2535ec128bb92890ef03aef6f3575c" dmcf-pid="HlFmFmuSSP" dmcf-ptype="general">[아이뉴스24 박지은 기자] 중국의 매서운 추격이 가시화되자 글로벌 반도체 업계가 술렁이고 있다.</p> <p contents-hash="0890ed0984983b6fce421a3f550063493ddfbdc926b8d04de3f0975de7d0d751" dmcf-pid="XS3s3s7vv6" dmcf-ptype="general">최근 중국에서 열린 반도체 전시회에서 설립된지 4년 된 스타트업이 30종 이상의 첨단 장비를 전시하면서다. 이 업체는 세계작으로 네덜란드 ASML만 생산할 수 있는 극자외선(EUV) 장비급 성능을 내는 특허도 확보한 것으로 알려졌다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="9bdffb89e758f0c405f6bc680a014b19ff62a73260ade65ae516da774bf3167f" dmcf-pid="Zv0O0OzTh8" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="지난 26일 중국 상하이에서 열린 '세미콘 차이나'의 사이캐리어 부스 앞에 관람객이 가득 몰려 있다. [사진=링크드인 계정 'Stanley Lim' 캡처]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202503/31/inews24/20250331181021215bwuh.jpg" data-org-width="489" dmcf-mid="YSk8k8meyx" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202503/31/inews24/20250331181021215bwuh.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 지난 26일 중국 상하이에서 열린 '세미콘 차이나'의 사이캐리어 부스 앞에 관람객이 가득 몰려 있다. [사진=링크드인 계정 'Stanley Lim' 캡처] </figcaption> </figure> <p contents-hash="a3c921c0a7a243ef855a0b124553691a44a45cf7304c49a717d88532ddab1ffb" dmcf-pid="5TpIpIqyh4" dmcf-ptype="general">31일 반도체 업계에 따르면, 중국 반도체 장비사 사이캐리어(SiCarrier)는 지난 26~28일 중국 상하이에서 열린 '세미콘 차이나'에서 30종 이상의 첨단 장비를 전시했다.</p> <p contents-hash="2b249da12d9df8c33b280d0b5cd60b9f399896d0cdc984ec2167ff7d34d30050" dmcf-pid="1yUCUCBWyf" dmcf-ptype="general">사이캐리어가 공개한 장비들 가운데 핵심은 중국의 명산(名山) 이름을 붙인 5개의 플래그십 웨이퍼 제조 시스템이다.</p> <p contents-hash="77e32353423662e94c15a44af51de285c1a7a941a2afb0d7449eb14007bc2224" dmcf-pid="tWuhuhbYSV" dmcf-ptype="general">이들은 △어메이산(고급 노트 및 4세대 반도체용) △울릉원(에칭 공정) △백두산(CVD, 28~5㎚ 로직 및 메모리 박막용) △저우산(PVD, 금속화 및 재료 레이어링) △알리산(ALD, 5㎚ 미만 노드에서 원자 수준 증착을 돕는 공정) 등으로 명명됐다.</p> <p contents-hash="f05f397e0c06990cf506313a254fb34d3dda79b2c69ed3e9cd4fe97fb4a86323" dmcf-pid="FgIdIdval2" dmcf-ptype="general">반도체 업계에선 사이캐리어가 미국 어플라이드머티어리얼즈, 일본 도쿄 일렉트론, 네덜란드 ASML처럼 글로벌 장비사들의 첨단 제품을 쓸 수 없는 중국에서 대안으로 떠오르고 있다는 관측을 내놓는다.</p> <p contents-hash="099ea065912f34e90c447fd09f78e8d6b12eea318c6f105f22a56d300a0c0ccc" dmcf-pid="3aCJCJTNy9" dmcf-ptype="general">중국 정부가 사이캐리어를 '반도체 굴기' 전략의 일환으로 육성하고 있어서다. 2022년 설립된 스타트업이 첨단 장비 30개 이상을 공개할 수 있었던 이유도 국가적 지원이 대거 쏠리고 있기 때문이라는 설명이다.</p> <p contents-hash="f83a3267d6d73f58e27dbb186396783c4938b619b6411c8a37acc117a0fb58d0" dmcf-pid="0NhihiyjWK" dmcf-ptype="general">사이캐리어는 중국 심천(선전) 정부의 지원을 받고 있으며, 이 회사의 최고기술책임자(CTO)인 다이 쥔(Dai Jun)은 SMIC와 중국 반도체펀드의 고위직을 맡고 있다.</p> <p contents-hash="22ffc3394de386fd3e176ba68a01d88cfccb7a66b4188d764f9df0b36fb8bff2" dmcf-pid="pjlnlnWATb" dmcf-ptype="general">스탠리 림 중국 광대역 반도체 연구 센터 설립자는 "ASML과 TSMC 같은 거대 기업이 언론의 헤드라인을 지배하고 있지만, 덜 알려진 심천의 이 회사가 최첨단 장비와 독점 기술을 공개해 화제를 모으고 있다"며 "거인을 상대로 성공할 수 있을 지 관건"이라고 말했다.</p> <p contents-hash="a0092d676e265c51db63f153969593407efb5e61a2962ca0232e757ecb6bcd80" dmcf-pid="UASLSLYcvB" dmcf-ptype="general">사이캐리어는 지난 2023년 EUV 노광장비 없이 DUV 장비로 5㎚ 공정 반도체를 생산할 수 있는 특허도 확보한 것으로 알려졌다.</p> <p contents-hash="cafe9641e6cdb52a7f4df2aa461593fba0329cfa9d80106882bf8c88466d2310" dmcf-pid="ucvovoGkSq" dmcf-ptype="general">반도체 업계에선 화웨이가 '메이트60 프로' 스마트폰에 탑재한 7㎚ 칩을 생산할 때 사이캐리어의 장비 도움을 받았을 것으로 추측하고 있다.</p> <p contents-hash="36d569384ce52b08e6770c498bfa31bbfc4b2bbbb207401efd0be4b7a1108392" dmcf-pid="7kTgTgHECz" dmcf-ptype="general">중국 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 기업인 SMIC가 연내 5나노미터(㎚) 공정에 웨이퍼를 투입할 수 있다는 소식도 전해졌다.</p> <p contents-hash="b591730eb604441d5cd62d79ca2e40bff79bc272eb5f360bb1fbbc6c34b09c0b" dmcf-pid="zEyayaXDv7" dmcf-ptype="general">미국 IT매체 Wccf테크는 지난 28일 업계 소식통을 인용해 "SMIC가 올해 5㎚ 공정 개발을 마무리할 예정"이라고 보도했다.</p> <p contents-hash="a0f8085d91c3e709bb19aaec1a11cb16671c791177277d1874f29ed4ee1aace5" dmcf-pid="qDWNWNZwvu" dmcf-ptype="general">다만 이 매체는 "SMIC가 공정 개발에 성공하더라도, 5㎚ 공정에서 칩을 생산하는 비용이 TSMC보다 최대 50% 더 높을 수 있다"며 "결국은 사이캐리어처럼 EUV 장비를 쓰지 않고 미세회로를 새길 수 있는 대안을 개발하게 될 것"이라고 예상했다.</p> <p contents-hash="84a4ad8a1385cee371725a95e0d38fdfd7709cc2a79655b70a0a12d630f2252f" dmcf-pid="BwYjYj5rTU" dmcf-ptype="general">한편 사이캐리어 관계자는 다음달 3일 상하이 무역행사에서 '반도체 장비 시장의 기회와 과제'에 대해 20분 분량의 프레젠테이션을 진행할 것으로 알려졌다.</p> <address contents-hash="99c2ae8b7711e2c4beddef3c5c9073fed3d011ef98aaf190a3e1abfec0e19757" dmcf-pid="brGAGA1mSp" dmcf-ptype="general">/박지은 기자<span>(qqji0516@inews24.com)</span> </address> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 아이뉴스24. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 과기정통부, 디지털콘텐츠 기업 해외진출 지원...4월30일까지 공모 03-31 다음 "AD카드·예산 확대해달라"…동계 종목단체, 올림픽 앞두고 문체부에 건의(종합) 03-31 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.