[유리기판 테크데이] JWMT “초미세 TGV 가공 기술 확보…유리기판 제조 진출” 작성일 04-16 112 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="x6hoWIvaIG"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="27d540b0d4869d0e6a3f1da76ade0cd6c6081f0ea147519c39a5f765697a5274" dmcf-pid="yS4tMVP3OY" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="전자신문 주최 '전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'행사가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다. 박성수 JWMT 대표가 '유리기판 TGV 기술 개발 동향'을 주제로 발표하고 있다. 김민수기자 mskim@etnews.com" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/16/etimesi/20250416135805292xvjl.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="QpUSb0zTmH" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/16/etimesi/20250416135805292xvjl.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 전자신문 주최 '전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'행사가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다. 박성수 JWMT 대표가 '유리기판 TGV 기술 개발 동향'을 주제로 발표하고 있다. 김민수기자 mskim@etnews.com </figcaption> </figure> <p contents-hash="9b02647a34c0c07820dd7352c72935af5f171ce3c67c7a7a56d213bef94e5ed3" dmcf-pid="Wv8FRfQ0sW" dmcf-ptype="general">제이더블유엠티(JWMT)가 초미세 글라스관통전극(TGV) 가공 기술을 확보했다고 밝혔다. TGV는 반도체 유리기판의 신호 전달 통로로, 이를 구현하는 기술은 난도가 높다. JWMT는 협력사와 도금 및 화학적기계연마(CMP) 난제 해결에도 뛰어들었다. 실제 유리기판 제조에 진출하기 위해서다.</p> <p contents-hash="756efea3e6bb5b1a02d03744d591e2e88fb7f1c8eba7f0b19e8ab4d87f5eed90" dmcf-pid="YT63e4xpIy" dmcf-ptype="general">박성수 JWMT 대표는 16일 전자신문이 주최한 '테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'에서 “현재 0.2㎜(T) 두께 유리에 12마이크로미터(㎛) TGV 구멍(홀) 가공 기술까지 확보했다”고 밝혔다.</p> <p contents-hash="d338e51ee76d30a6e6e057a7aa1cd2c299c85dfc45653ef31f0752959106f668" dmcf-pid="GyP0d8MUIT" dmcf-ptype="general">이는 매우 얇은 유리에도 훼손 없이 초미세 TGV를 뚫을 수 있다는 의미다. 특히 연구 단계가 아닌 양산라인에서 300×400㎜ 유리기판으로 기술을 구현한 유일한 업체로 꼽힌다.</p> <p contents-hash="5781edf930f09b782f5b25521df1541576755547b0ae84d02c9ca1b1b7128171" dmcf-pid="HWQpJ6Rusv" dmcf-ptype="general">JWMT는 2004년 설립된 회사로, 2018년 유리기판 사업에 진출했다. 레이저와 화학적 식각으로 TGV 홀을 뚫는 'LMCE(Laser Modification Chemical Etching)' 기술력을 갖췄다.</p> <p contents-hash="d04f68ed70809fcdd26a2b901321b6372c7f53cc5b42064308cdb68866bff9db" dmcf-pid="XYxUiPe7ES" dmcf-ptype="general">TGV는 고대역폭메모리(HBM)의 실리콘관통전극(TSV)과 마찬가지로 수직으로 구멍을 뚫은 뒤 구리 등 금속을 채워 전기 신호를 보내는 길이다. JWMT LMCE는 레이저로 유리에 틀을 잡은 뒤 식각으로 구멍을 완성한다. 이후 구리를 채우는 도금과 평탄화를 위한 CMP 공정이 이뤄진다.</p> <p contents-hash="a8a0500ef96d6a4dc200269eb58397fcab6f67079b4c39324102f9fd53ca1368" dmcf-pid="ZGMunQdzml" dmcf-ptype="general">JWMT는 올해 9월까지 안산에 월 5000장 규모의 양산라인 구축을 완료하고, 추가 부지를 확보해 2027년까지 3만장까지 생산능력을 확대할 계획이다. 도금, CMP 업체들과도 협력해 일괄 라인을 구축한다.</p> <p contents-hash="d99db9d6e1f03eea61777b4adc197a73806978f7002ee9873f3b004d1735b58b" dmcf-pid="5HR7LxJqwh" dmcf-ptype="general">JWMT가 도금·CMP 협력을 강화하는 건 유리기판 제조 방식 때문이다. 유리 기판은 주 기판인 글래스 코어와 중간 기판인 글라스 인터포저로 구분된다. 글라스 코어는 반도체 칩 대면적화에 따라 기판도 커지는 추세다. 반면 글라스 인터포저는 TGV 구멍 간 간격을 좁혀야 하는 과제를 안고 있어, 유리를 최대한 얇게 가공해야 한다.</p> <p contents-hash="0c2332e86a8d1f5d4842af2ea572176535e26f3d0e1316d5e04ce5dd6ccbca96" dmcf-pid="1XezoMiBEC" dmcf-ptype="general">박 대표는 “얇은 글라스 인터포저에 도금과 CMP 공정을 하려면 공정 중 기판이 깨지지 않도록 새로운 기술과 설비를 고안해야 한다”면서 “0.1㎜ 두께의 유리를 갈아내는 것도 난도가 높아 CMP 공정의 안정화가 필요하다”며 도금·CMP 협력 이유를 설명했다.</p> <p contents-hash="7cb2b39c4924e944253b9707528dc11324a0a34a7de6c50f85f80bafe6c4a4a7" dmcf-pid="tZdqgRnbII" dmcf-ptype="general">이외에도 유리가 두꺼워짐에 따라 일부 TGV 구멍이 뚫리지 않는 문제, TGV 구멍을 비 파괴·고속 검사하는 기술, 공정이 끝난 유리기판을 자를 때 응력·휨·파손(세와레) 우려를 최소화하는 절단 공정도 기술 과제로 꼽았다.</p> <p contents-hash="995a9aa026a8f7bed82870eef8c3126484d0a49ed3a30509d6972a5b98008de9" dmcf-pid="F1ibNdo9IO" dmcf-ptype="general">박 대표는 “최종 고객들은 'TGV→도금→CMP' 토털 솔루션을 요구하는 추세”라며 “글라스 코어와 글라스 인터포저는 서로 다른 기술적 난제가 있고 이를 해결하기 위해 다양한 기업들과 협력할 계획”이라고 밝혔다.</p> <p contents-hash="2b5c10bcdb6b996081a52ec687c293c835b9eb63d2214bdd695cf25ba7e3fd1d" dmcf-pid="3tnKjJg2ms" dmcf-ptype="general">박진형 기자 jin@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 엔시티 위시 유우시, 엑소 카이에 했던 '앞니 플러팅' 재연 [TV캡처] 04-16 다음 美 민감국가 발효 첫날, 한미 과학 협력 봇물… “장기화되면 악영향 불가피” 04-16 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
