[유리기판 테크데이] 에스디옵틱스 “초고속 가변초점 기술로 TGV 전수조사” 작성일 04-16 120 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="F2GZUZ3IOe"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="a52369e8dcaddb47e41f4128d5bb523f74cd462d84a24cf62fcbb3857b3fecc5" dmcf-pid="3VH5u50CsR" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="전자신문 주최 '전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'행사가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다. 서청수 에스디옵틱스 대표가 '초고속 3D Line Scanner를 이용한 유리기판 전수 검사'를 주제로 발표하고 있다. 김민수기자 mskim@etnews.com" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/16/etimesi/20250416160404636lxez.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="tVOZUZ3IEd" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/16/etimesi/20250416160404636lxez.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 전자신문 주최 '전자신문 테크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것'행사가 16일 서울 강남구 포스코타워에서 열렸다. 서청수 에스디옵틱스 대표가 '초고속 3D Line Scanner를 이용한 유리기판 전수 검사'를 주제로 발표하고 있다. 김민수기자 mskim@etnews.com </figcaption> </figure> <p contents-hash="42902095a550897a84386078d2aebe4ff3ffa1c704426f9f565cc40f43e82715" dmcf-pid="0fX171phOM" dmcf-ptype="general">에스디옵틱스가 초고속 가변초점 렌즈를 활용한 반도체 유리기판용 광학 검사 기술을 공개했다. 이 기술은 전기 신호를 전달하는 '글라스관통전극(TGV)'의 균일성을 살피는 것으로, 유리기판 수율 향상에 기여할 것으로 예상된다.</p> <p contents-hash="b6580a6b8ab3fb4f418ee0cf2a225ef35478184ab6cd96194fe12faa3828b792" dmcf-pid="p4ZtztUlEx" dmcf-ptype="general">서청수 에스디옵틱스 대표는 16일 '전자신문 테크데이: 반도체 유리기판의 모든 것'에서 “가공 후 각종 결함이 발생할 경우 심각한 성능저하 및 차후 공정 불량으로 이어질 위험이 크기 때문에 정밀하고 빠른 전수검사 기술이 필수”라고 말했다.</p> <p contents-hash="f30e28ddb7eb4a9d60bc4a103561e5bf67f27be228be293014592a0b3ef609f8" dmcf-pid="U85FqFuSIQ" dmcf-ptype="general">에스디옵틱스는 초고속 가변초점 렌즈(MALS) 기술을 보유한 기업이다. 반도체 정밀기계기술(MEMS)로 만든 8000여개 초미세 거울 렌즈가 초당 1만2000번 초고속으로 실시간 초점을 맞춰 빠른 검사를 가능하게 한다. 에스디옵틱스는 세계적 광학기업 칼 자이스에도 이 기술을 공급한 바 있다.</p> <p contents-hash="bdd6d03a109e8c9b9b961de050cf7016905f330a772dc19fc184cb78a6138ab2" dmcf-pid="u613B37vEP" dmcf-ptype="general">TGV는 유리기판에 수십 마이크로미터(㎛) 크기 구멍을 뚫은 후 구리 등 금속을 채워 전기 신호를 전달하는 통로다. TGV가 제 기능을 발휘하려면 구멍 크기와 간격이 균일해야 한다. 특히 위·아래 구멍 직경에 편차가 없어야 신뢰성을 확보할 수 있다.</p> <p contents-hash="e1f640911280093f31e274e7ed5b156ea418c57cdee11edff2cbe65286de4c79" dmcf-pid="7Pt0b0zTw6" dmcf-ptype="general">에스디옵틱스의 초고속 가변초점렌즈 솔루션은 유리 기판과 수직 및 사선으로 배치된 광학 스캐너가 TGV 구멍의 3D 형상 및 다양한 조건을 실시간 측정, 문제가 있는지 확인할 수 있다.</p> <p contents-hash="02b65cdcaeb0161839e60724a181575b35cd8f3d03d21a9174984746759e981c" dmcf-pid="zQFpKpqyD8" dmcf-ptype="general">TGV 상·중·하면 직경, 내면 직경을 높은 반복 정밀도로 측정할 수 있고, 테이퍼 각도와 상·하부 홀 위치 편차, 홀 정렬 상태도 확인 가능하다고 서 대표는 설명했다. 또 균열, 결함 등을 검출해 정밀 분석할 수 있다.</p> <p contents-hash="10cba79c9090f21faaf3372117b75cf405b5e5f874df250e93d5e9334e272d19" dmcf-pid="qx3U9UBWE4" dmcf-ptype="general">서 대표는 “보통 사용되는 5배율 대물렌즈 폭이 20~60㎛인데, 글라스 인터포저나 글라스 코어 기판은 두께가 100~1200㎛라서 60차례 이상 초점 변화가 필요하다”면서 “초고속 가변초점 렌즈 기술을 활용하면 가변 초점을 하면서 라인 스캐너와 결합해 실시간으로 빠르게 검사할 수 있고 반복 정밀도도 0.25㎛ 이하로 정확한 데이터를 획득할 수 있어서 수율을 개선할 수 있다”고 설명했다.</p> <p contents-hash="45aff8a4b5477b5535c4460117c4cba48f818df5334ec7803cb14fd43bac4451" dmcf-pid="BZErSrCnrf" dmcf-ptype="general">서 대표는 이날 발표에서 싱귤레이션(절단) 공정 이후 절연막인 아지노모토빌드업필름(ABF) 면과 유리 면 치수 및 선폭 검사를 할 수 있는 기술도 소개했다.</p> <p contents-hash="7eb3f07ff1e6fab6c43fa817e028a08386c594e6384ab56f229d69d17119c1a3" dmcf-pid="b5DmvmhLOV" dmcf-ptype="general">반도체 유리기판은 절연막인 ABF 공정 후 개별 단위로 잘라내는데, 에스디옵틱스 솔루션을 사용하면 크기와 두께, 기판 단차 및 결함 여부를 최종적으로 파악할 수 있다. 이 과정을 통해 제품 조립 과정에서 발생할 불량을 예방할 수 있다.</p> <p contents-hash="dd8fd679ee12f8d2c5058f3a24b087e4f2199b0fd93aa273faed5398061de3ea" dmcf-pid="K1wsTsloD2" dmcf-ptype="general">서 대표는 “반도체 유리기판 제조 라인에 적용될 전수 검사 시스템”이라며 “유리기판 공정 품질 개선과 생산성 향상에 기여할 것”으로 기대했다. 에스디옵틱스 솔루션은 필옵틱스 검사 장비에 적용돼 고객사에 공급됐다.</p> <p contents-hash="634a8125f34c001f6ac9872635b06b3dbd7d1c539448b19dd69f8e67d0c37963" dmcf-pid="9trOyOSgs9" dmcf-ptype="general">김영호 기자 lloydmind@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 [人사이트] 이윤행 에이딘로보틱스 대표 “휴머노이드 로봇, 센서가 핵심이죠” 04-16 다음 제품 생산량 늘리는 애플… 韓 부품업계, 관세 예외 여부 ‘촉각’ 04-16 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
