애니캐스팅, '기공 없는' 반도체 유리기판 도금 기술 개발 작성일 05-12 60 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="P8ftqcTNEg"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="002b02035e5fb3348ef53a2780c3f6909fce12b8538312d01cd38442d23714f8" dmcf-pid="Q64FBkyjEo" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="애니캐스팅 유리기판 시제품" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202505/12/etimesi/20250512071105571jdin.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="8E60KDYcON" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202505/12/etimesi/20250512071105571jdin.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 애니캐스팅 유리기판 시제품 </figcaption> </figure> <p contents-hash="30e5ba96605b705294e8f78d818645b7e56abd61f1d6827bc03d911bc94a1dd0" dmcf-pid="xMQU2rHEDL" dmcf-ptype="general">애니캐스팅이 반도체 유리기판 시장에 도전장을 던졌다. '빈 공간(기공, Void)'이 없는 도금 기술로 반도체 유리기판 생태계에 본격 진입한다는 포부다.</p> <p contents-hash="4bd064a6df84e85633da4886257504baa93abaaa91bf96ff3476d3eb060590c2" dmcf-pid="yWTAObdzwn" dmcf-ptype="general">김성빈 애니캐스팅 대표는 “국부적인 금속이온 농도 제어기술로 반도체 유리기판의 글라스 관통 홀(TGV)에 효과적으로 구리를 충전할 수 있는 기술을 확보하고, 전용 장비를 개발했다”고 11일 밝혔다.</p> <p contents-hash="c1f90753797a07125b55c7e2d5f15fe738576ee7174f18091e625cf84583e4eb" dmcf-pid="WYycIKJqIi" dmcf-ptype="general">TGV 홀은 반도체 유리기판에서 신호를 전달하는 통로다. 레이저와 식각으로 구멍을 뚫은 뒤 구리를 채우는 도금 공정으로 완성한다.</p> <p contents-hash="6a7c02de3a56eaaee44cf9c15aeda0b280b7b41164ae5e201f3c447f85cc85bf" dmcf-pid="YGWkC9iBOJ" dmcf-ptype="general">유리기판 핵심 요소인 TGV를 만드는 공정 난도도 높지만, 여기에 구리를 안정적으로 충전하는 기술도 업계 난제로 꼽힌다.</p> <p contents-hash="e9a2f5aca9851a4272876df2e490a57b544a8ea2ace66967445c915f8694c262" dmcf-pid="GHYEh2nbrd" dmcf-ptype="general">다만 국내 도금 시장이 작고 관련 업계도 영세하다보니 상대적으로 이 분야에 대한 관심이 덜했다.</p> <p contents-hash="6788dca248fcbd9d4232fb2cee050efbcf4ac0fea793aeff7143c1e923781c45" dmcf-pid="HXGDlVLKre" dmcf-ptype="general">김 대표는 “도금 과정에서 발생하는 미세한 기공은 전류와 열 부하가 집중되는 원인이 돼 시스템 결함을 유발할 수 있다”며 “이를 방지하려면 TGV 내부 기공을 제거하고, 기판 변형을 최소화하는 정밀 도금기술이 필요하다”고 밝혔다.</p> <p contents-hash="8bf3a3aac9b10f35085f0eed98f6d7f6b9ca40925d0b288ea7a163bcdf116354" dmcf-pid="XZHwSfo9sR" dmcf-ptype="general">업계에서는 부피 기준으로 1~3% 수준의 기공은 허용하는 분위기다. 기공을 완전히 없애기 어려워서다.</p> <p contents-hash="5e8c35af1952d8051f7a6ad694e7b2dd8ea678f497312900db9898254b1c085b" dmcf-pid="Z5Xrv4g2DM" dmcf-ptype="general">애니캐스팅은 이마저도 유리기판 신뢰성에 타격을 줄 수 있다고 판단, 기공 0%의 도금 기술을 확보했다고 강조했다.</p> <p contents-hash="5b22b4070a907a920b5e4685557649fce24c8bfffabbf6b51ed7bdbdd83d0d48" dmcf-pid="51ZmT8aVrx" dmcf-ptype="general">김 대표는 “금속이온 3차원(3D) 프린팅 기술을 활용, 구리 등 이온농도를 미세하게 제어할 수 있게 됐다”며 “최근 유리기판 샘플 검사를 통해 TGV 홀 내부에 기공 없이 도금할 수 있음을 확인했다”고 밝혔다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="b6dd61f2ae69eaa151db935d8ec0a4d9fee50534411477fe4a705a84f314f892" dmcf-pid="1t5sy6NfmQ" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="김성빈 애니캐스팅 대표" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202505/12/etimesi/20250512071106990oemm.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="6nvjsBe7ma" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202505/12/etimesi/20250512071106990oemm.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 김성빈 애니캐스팅 대표 </figcaption> </figure> <p contents-hash="dcc657082bf7f6189e02ac84c3131df7f73fa688a85f3eab911421c2ed8b4563" dmcf-pid="tF1OWPj4mP" dmcf-ptype="general">애니캐스팅은 협력 체계도 구축했다. 도금 기술과 더불어 다양한 공정 기술이 어우러져야 반도체 유리기판 상용화가 가능하다는 판단에서다.</p> <p contents-hash="732141b3bd95de8ad0707863395d3a40d309d29f6f983e99e68fd5342476afa4" dmcf-pid="F3tIYQA8s6" dmcf-ptype="general">김 대표는 “글로벌 유리 소재 기업 뿐 아니라 레이저 유도 식각을 통한 TGV 가공 업체와도 협력을 진행 중”이라고 말했다.</p> <p contents-hash="355b4f228f5325fc5c82af2d12fc5b55749cb6c6ac55e377c353ce99c39ed979" dmcf-pid="30FCGxc6O8" dmcf-ptype="general">연마 공정 업체와도 협업 중이다. 연마의 경우 도금 공정과의 밀접하고, 중요성이 크기 때문이다.</p> <p contents-hash="663d42a5af61082a799c80ff39b5b6ed61252d6f089a4babfb254866501adfbc" dmcf-pid="0p3hHMkPO4" dmcf-ptype="general">그는 “도금 두께, TGV 홀의 함몰 깊이, 변형량 등 핵심 요소는 도금과 연마 공정이 서로의 조건을 고려해 연계해야만 안정적 품질을 확보할 수 있다”고 전했다.</p> <p contents-hash="ed917584056705ad45c642aed97a993c715f3729b256956c523f4d954c3508c5" dmcf-pid="pon9xS0Cmf" dmcf-ptype="general">애니캐스팅은 독자 기술을 적용한 반도체 유리기판 도금 장비까지 만들었다. 다수 샘플 작업을 진행 중이다.</p> <p contents-hash="870eee4037a5871555ea5cece4b72ea9ff443b734e6a964936816c487e85a4fd" dmcf-pid="UgL2MvphOV" dmcf-ptype="general">김 대표는 “유리기판 크기가 커질 수록 기공 없는 도금 기술이 더욱 중요해질 것”이라며 “궁극적으로 유리기판 크기별로 세척, 전처리, 시드층 형성, 구리 충전 도금까지 자동화 할 수 있는 시스템을 구축할 계획”이라고 밝혔다.</p> <p contents-hash="e6a2115411f8c20d269161c8a214f03246c4498cdc07e276860b983fb728a5c3" dmcf-pid="uaoVRTUlE2" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 [스한:BOX] '야당' 4주 연속 주말 1위…298만↑ 05-12 다음 "눈물의 첫 내한공연" 나카시마 미카, 온몸과 마음을 다해 전한 진심 [리뷰] 05-12 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
