유리기판 사업화 시동…켐트로닉스 'TGV 시생산 라인' 구축

작성일 08-26

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         <section dmcf-sid="BBX6jyA8ry">
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="72cc3fddde100c0d93073be0bf81b65102d5bb601de1a7e4f5ed98ba7676fab6" dmcf-pid="bxzoC0hLsT" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="켐트로닉스의 반도체 유리기판 TGV 생산 라인 팹 조감도(사진=켐트로닉스 유튜브 영상)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202508/26/etimesi/20250826101541165ejyk.png" data-org-width="700" dmcf-mid="z8tMEHDxEY" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202508/26/etimesi/20250826101541165ejyk.png" width="658"></p>
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            켐트로닉스의 반도체 유리기판 TGV 생산 라인 팹 조감도(사진=켐트로닉스 유튜브 영상)
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          <p contents-hash="c05ba2c03c87e02c7a03c241ad0c718ddb69173f64406894494da433d11b893c" dmcf-pid="KMqghploEv" dmcf-ptype="general">켐트로닉스가 '글라스관통전극(TGV)' 라인 구축에 착수했다. TGV는 전기적 신호를 전달하기 위해 유리기판에 구멍(홀)을 뚫는 것으로, 반도체 유리기판 제조 공정 중 핵심에 꼽힌다. 반도체 유리기판 시장 진출을 추진 중인 켐트로닉스가 사업화에 중요 발걸음을 뗐다.</p>
          <p contents-hash="1882ad1eeea1dd18017770f28245ccd50bd7d5f5d3fa92af5c544720e86baa16" dmcf-pid="9RBalUSgmS" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 TGV 공정 시생산(파일럿) 라인에 들어갈 주요 설비를 발주했다고 26일 밝혔다. 독일 LPKF 레이저 가공 장비를 포함, 자동광학검사(AOI)·엑스레이 장비 등을 켐트로닉스가 인수한 제이쓰리 천안사업장에 순차 도입할 계획이다. 10월 말까지 라인 구축을 마쳐, 연말 고객사에 시제품을 공급할 예정이다.</p>
          <p contents-hash="dfd5444072dc835be608ce19c3843b714275d037df99008d993552146be6269b" dmcf-pid="2ebNSuvawl" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 TGV 차별화를 위해 자체 개발한 기술들을 적용하기로 했다. 일례로 유리기판은 인공지능(AI)과 같은 고성능 반도체에 적용되는 만큼 미세균열이나 이물은 물론 강도가 높아야 하는데, 회사는 레이저로 구멍(홀) 틀을 만든 후 습식 식각으로 최종 구멍을 뚫어 완성도를 높일 계획이다.</p>
          <p contents-hash="472a4268c6df73904e1d0b83baabb50cb35faf4115ce06c8db4d2eb95e9eba1f" dmcf-pid="VdKjv7TNEh" dmcf-ptype="general">회사 관계자는 “국내 최초 불산 기반 습식 식각 공정으로 대면적 유리기판을 구현할 수 있는 기술을 확보했다”면서 “이를 통해 생산성과 제품 강도를 향상시킬 것”이라고 말했다.</p>
          <p contents-hash="12e9028505978e57bd6947dce67d2f2f4d57324bc94b53eca0303298e4f32a64" dmcf-pid="fJ9ATzyjsC" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 유리 공급 업체에서 강도가 향상되고 불산에도 쓸 수 있는 TGV 전용 유리 원장도 수급하는 체계도 갖췄다. 기존 반도체 유리기판은 알카리 식각이 주류였으나, 불산 식각으로 차별화한다는 전략이다.<br></p>
          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="4dac756ee993a83f06c730aa203b675dc0fbcda8381a0ac27a7810f17ef9cddb" dmcf-pid="4i2cyqWAwI" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="켐트로닉스 습식 식각 공정 이미지" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202508/26/etimesi/20250826101542435aodq.png" data-org-width="700" dmcf-mid="qYAZ9o2XmW" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202508/26/etimesi/20250826101542435aodq.png" width="658"></p>
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            켐트로닉스 습식 식각 공정 이미지
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          <p contents-hash="85220e75684547c024d571a82fdd71f65f35b8f6639f7d3d95f6ad6a16bc6212" dmcf-pid="8nVkWBYcIO" dmcf-ptype="general">회사는 지난 1월 인수한 제이쓰리의 화학적기계연마(CMP) 설비 및 세정 공정도 활용한다. 유리기판 평탄도를 높이고 이물(파티클)을 제어하기 위해서다.</p>
          <p contents-hash="81b8da10a50b533363186b6a45c311b7a5632767b5e041665006415e089a3134" dmcf-pid="6LfEYbGkIs" dmcf-ptype="general">이를 통해 △유리원장 가공 △연마(폴리싱) △레이저 가공 △습식 식각 △AOI 검사 △도금 개발(외주) △CMP 평탄화 △엑스레이 검사 등 TGV 공정 전주기 인프라를 확보할 방침이다.</p>
          <p contents-hash="d1279cbe89d52f233ecb83793a250b70cd57599a578d2b648cf5f419da252d8e" dmcf-pid="Po4DGKHEsm" dmcf-ptype="general">반도체에는 그동안 플라스틱 재질 기판이 사용됐다. 그러나 인공지능(AI)으로 고성능 반도체가 필요해지면서 유리기판으로 대체하려는 움직임이 생겼다. 신호 처리 속도를 향상시킬 수 있어서다.</p>
          <p contents-hash="29f3d7d4ced1582b4cdfc8c7608382aecb51eb4422e350d2e752b98d657b5aae" dmcf-pid="Qg8wH9XDDr" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 반도체 유리기판 시장이 개화하면서 디스플레이에서 쌓은 유리기판 제조 기술을 반도체로 확장했다. 제이쓰리 천안사업장 2000평의 유휴부지에 반도체 유리기판 및 반도체 소재 전용 라인을 구축 중이다. 세종·천안에 식각 설비와 불산 등 폐수처리 인허가 인프라를 조성하고 있다.</p>
          <p contents-hash="a853a267ced8699c74671b5306d952d438bc5e86e179ecab1cd36a54039f59f7" dmcf-pid="xa6rX2ZwDw" dmcf-ptype="general">켐트로닉스 관계자는 “연말까지 고객사에 시제품을 공급하고, 본격적인 양산 논의에 착수할 것을 기대한다”며 “이르면 2026년 말 또는 2027년에 유리기판 양산에 돌입할 것”이라고 말했다.</p>
          <p contents-hash="b2a03614e8bd580f282c6331e00d1e28526930d361f2c3054d163342605008cd" dmcf-pid="y91xkGEQwD" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p>
         </section> 
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