켐트로닉스, EUV PR 핵심 원료 공급 개시…'PGMEA' 국산화 작성일 09-23 66 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="K1JF5NaVm0"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="12c58c355fe2b93874dfea96bb4f5c260800bef5977a36765554c4d3da909456" dmcf-pid="9ti31jNfr3" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="켐트로닉스 평택 사업장" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202509/23/etimesi/20250923080249953vkfb.png" data-org-width="700" dmcf-mid="qyoU3kc6Iu" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202509/23/etimesi/20250923080249953vkfb.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 켐트로닉스 평택 사업장 </figcaption> </figure> <p contents-hash="73162b947441916033df2b6eaee81ef640fc036062acd1849b9a433affd8ffbd" dmcf-pid="2Fn0tAj4OF" dmcf-ptype="general">켐트로닉스가 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 원료 공급을 시작했다. 그동안 일본, 중국, 대만 등 해외 의존하던 소재로, 국산화에 성공했다.</p> <p contents-hash="0e2b309e83bfc37dddb8aaa5fa577a82df27a330cc45eb1dc59b6e0d745e246d" dmcf-pid="V3LpFcA8Dt" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 99.999%(5N) 초고순도 PGMEA를 양산해 국내외 다수 반도체 소재 업체에 공급한다고 23일 밝혔다.</p> <p contents-hash="28a6bb8c04eee34a837938445a58b775ddf4df1415bef4bc96ebea16216cc698" dmcf-pid="f0oU3kc6I1" dmcf-ptype="general">최종 고객사는 EUV 공정을 사용하는 반도체 파운드리 회사다. 계약을 이유로 구체적인 고객사명은 공개하지 않았다. EUV는 10나노미터(㎚) 이하 첨단 반도체를 제조할 때 필수인 노광 기술이다.</p> <p contents-hash="75ec1a0a3ed2cfdc46c062c3781c7bc454b4df999f5468e2e1dfc6da64589ae3" dmcf-pid="4pgu0EkPE5" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 1년 이상 품질 평가를 진행, 고객사로부터 최종 공급 승인을 받았다. PGMEA 양산은 켐트로닉스 평택 공장에서 이뤄진다.</p> <p contents-hash="946640f1881b1af23bc6caa6da098a51d3c91fa9dbc91029c7a044b77da32112" dmcf-pid="8Ua7pDEQsZ" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 지난 2022년 PGMEA를 처음 개발했다. 국내 반도체 업계에 EUV 공정이 도입되면서 핵심 원료가 필요해서다.</p> <p contents-hash="9c02655c404ce23cb387ba2c564520e5be012167947c38aeb93125f5b93bb5e0" dmcf-pid="6uNzUwDxOX" dmcf-ptype="general">특히 2019년 일본의 반도체 소재 수출 규제가 불을 붙였다. PGMEA는 EUV 공정에서 회로 패턴을 형성하는 포토레지스트(PR)의 약 70~80%를 차지하는 용제다. EUV PR 원료지만 그동안은 일본산이 대부분이었다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="eb0710fc2e54f23d7ef8d14e381086df51df7d8ae588b770c83423c273805bd4" dmcf-pid="PsBIm4f5OH" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202509/23/etimesi/20250923080251192wpuc.jpg" data-org-width="320" dmcf-mid="Bve1Xgo9rU" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202509/23/etimesi/20250923080251192wpuc.jpg" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="8fb65cc10c751c9d7f463cd962e6fb5ac9f001ede5e9b58c7234f571fd72d923" dmcf-pid="QObCs841wG" dmcf-ptype="general">반도체 공급망 안정화가 화두로 떠오르면서 국산화가 추진됐고, 켐트로닉스가 연구에 착수해 EUV에 필요한 초고순도 PGMEA를 확보하는데 성공했다.</p> <p contents-hash="e67b96101212b59a0c5a92bfa7de208891208794904737013137327a1f8bcd68" dmcf-pid="xIKhO68twY" dmcf-ptype="general">켐트로닉스가 고객사 공급을 시작한 것은 기술력과 품질을 인정 받은 결과로 풀이된다. EUV 공정은 지금까지 상용화된 반도체 기술 중 가장 앞서 있고, 공정 가격도 비싸다.</p> <p contents-hash="ec3b882b7631b8abc062e3fda85661db4e58bc5622e1f6d1e62f0ab088a959e8" dmcf-pid="yVm42SloEW" dmcf-ptype="general">때문에 원료에 대해서도 품질과 신뢰성을 요구하는데, 켐트로닉스의 양산 공급은 까다로운 기준을 충족시켰다는 의미다.</p> <p contents-hash="9e8a49514ee249f3ac46821e666ca9412fc18d0fbf7b06b81668e79f1e067dc6" dmcf-pid="Wfs8VvSgIy" dmcf-ptype="general">회사가 납품하는 PGMEA는 금속성 불순물을 10PPT 이하로 줄인 99.999% 초순도를 실현한 것으로 알려졌다. 금속성 잔류물에 의한 결함을 최소화했다는 뜻이다.</p> <p contents-hash="3356eb70305c7d7780841e909c2cd7029cf249f56b82bad8521d247142fc9e88" dmcf-pid="Y4O6fTvaDT" dmcf-ptype="general">또 독성물질인 베타-아이소머 함량을 1PPM 이하로 줄였다. 해외 수입 제품(150~300PPM)과 견줘 친환경성을 강화해 최근 반도체 업계에서 요구되는 환경·사회·지배구조(ESG) 기준을 충족한 것으로 전해졌다.</p> <p contents-hash="52934f5df0dc6be141eb681a47193861a7fc82f0f5ece7937df565ee079c9f29" dmcf-pid="G8IP4yTNOv" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 공급이 본격화돼 빠른 증설로 PGMEA 생산능력을 확대할 계획이다. 이번에 공급된 PGMEA가 현재 운용 중인 고객사 파운드리 공장(팹) 뿐 아니라 신규 팹에도 적용될 가능성이 커서다. 수요 급증에 대비, 현재 연간 2만5000톤 규모인 생산능력을 5만톤으로 확대하는 방안을 추진 중이다.</p> <p contents-hash="2b097f55525b0fedfa40f9d38f56ca9e6eae0bdee83585de48b357e411bc300b" dmcf-pid="H6CQ8WyjsS" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 PGMEA 최초 설계 시 부터 증설을 염두에 두고 투자를 진행했다. 현재 반응기 등 일부 추가 투자만으로도 고객사 수요를 빠르게 충족할 수 있다고 회사 측은 설명했다.</p> <p contents-hash="4d8e259ead38033362c3756f1970589323b3c392d5ffc1ce7ccb3377b24e3201" dmcf-pid="XPhx6YWAwl" dmcf-ptype="general">김응수 켐트로닉스 대표는 “이번 PGMEA(퓨리솔 PMA) 대량 양산의 성공은 회사가 그동안 준비해온 반도체향 초고순도 제품의 기획과 개발, 제조, 그리고 품질관리 역량이 모두 결집돼 이루어낸 성과”라며 “최고의 품질 수준을 지향하는 많은 고객사들에 제품을 안정적으로 공급해 업계 표준이 될 수 있도록 노력할 것”이라고 말했다.</p> <p contents-hash="f512ccb73fdfc321e6c8b0733411bff49fd56445044a852980cef7bc0fbdbeaa" dmcf-pid="ZQlMPGYcEh" dmcf-ptype="general">켐트로닉스는 반도체 사업 비중이 늘어날 전망이다. 회사는 PGMEA 외에도 반도체 유리기판 글라스관통전극(TGV) 공정 개발, 재생 웨이퍼 등 반도체 소재부품 사업을 확대하고 있다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="f13d2d5c6a7a12533814b87e1e735beb420b7107895f24333a1d18de8c08029b" dmcf-pid="5xSRQHGkDC" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="김응수 켐트로닉스 대표. 〈사진 켐트로닉스〉" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202509/23/etimesi/20250923080252460bmql.jpg" data-org-width="400" dmcf-mid="br6YTde7Dp" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202509/23/etimesi/20250923080252460bmql.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 김응수 켐트로닉스 대표. 〈사진 켐트로닉스〉 </figcaption> </figure> <p contents-hash="59fe73f901583262775ed42ae4085723847e3f15d2e5cdfd59c91c6370ff5d24" dmcf-pid="1MvexXHEOI" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 ‘비하인드’ 오늘 최종회 09-23 다음 채용은 조직문화를 쌓는 첫 돌이다 09-23 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
