이노메트리, 반도체 유리기판 시장 진입…“TGV 검사장비 첫 공급” 작성일 10-14 48 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="GuHRukMUIF"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="27f515337a312ea6a23fb829d535fe6cb004a41fb9df8591643f16ca737b44a4" dmcf-pid="HB1iBrJqIt" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="이노메트리 본사 전경" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202510/14/etimesi/20251014091251254zyuk.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="GFghLtCnsa" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202510/14/etimesi/20251014091251254zyuk.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 이노메트리 본사 전경 </figcaption> </figure> <p contents-hash="51c410442366dc75e667f29df7b0a177860ee4c21a999666ffa0babb9cbb4cae" dmcf-pid="XbtnbmiBs1" dmcf-ptype="general">이노메트리가 신사업으로 추진한 반도체 유리기판 검사장비에서 첫 성과를 거뒀다. 반도체 유리기판 양산을 위한 공급망이 형성되는 초기에 의미 있는 발걸음을 대딛어 주목된다.</p> <p contents-hash="fa1601ebb369494f0ef9931abd23b1c0a792064f6ae8a4d213788f14be47eb32" dmcf-pid="ZKFLKsnbE5" dmcf-ptype="general">이노메트리는 14일 반도체 유리기판 글라스관통전극(TGV) 관련 기업 두 곳에 검사장비를 공급한다고 밝혔다.</p> <p contents-hash="61ea4318859f5831d10f2990ca1ba675d23bf37c0ff68dc27c1c13b53ab32a77" dmcf-pid="593o9OLKOZ" dmcf-ptype="general">회사 측은 “세부 내용은 밝힐 수 없지만 유리가공 전문 업체 한 곳에 컴퓨터단층촬영(CT) 검사기를, 미세도금 전문 기업 한 곳에 엑스레이 검사기를 공급하는 계약을 체결하고 장비 제작에 돌입했다”고 설명했다.</p> <p contents-hash="61d4c27965f5783eaafc4dc6104fc38c29a5dbb6e239f7d646ff959863abc452" dmcf-pid="120g2Io9rX" dmcf-ptype="general">TGV는 유리기판에 미세 구멍(TGV홀)을 만드는 공정이다. 유리를 반도체 기판으로 활용하기 위해서는 수만개의 구멍을 뚫은 후 구리 등 금속을 입혀야 한다. 전기 신호를 반도체에 전달하기 위해서다.</p> <p contents-hash="6721a640bc00dc9d370ea62187f8b2ab9ea5e6ed0e9095a6bed16ee0376d08c4" dmcf-pid="tVpaVCg2rH" dmcf-ptype="general">특히 이 공정은 수십~수백마이크로미터(㎛) 크기 구멍을 뚫은 것 뿐만 아니라 균일하게 금속을 채우는 게 어려워 유리기판 제조의 최대 난제로 꼽히는데, TGV와 도금이 제대로 이뤄졌는 지 확인하는 장비를 이노메트리가 공급하는 것이다.</p> <p contents-hash="cc41282f95fa75933d7d29f20a17e2f4dd72da993042940cdf80d51618900be6" dmcf-pid="FfUNfhaVIG" dmcf-ptype="general">이노메트리가 반도체 유리기판용 장비를 수주한 건 처음이다. 회사는 그동안 배터리에 이물질은 없는 지, 셀은 일정 간격으로 조립이 됐는 지 확인하는 이차전지용 검사장비를 주력으로 해왔다.</p> <p contents-hash="d8ef55f53a85f9f3a653546319c87b1a66f4d07ed47a7f9280fc53922247232f" dmcf-pid="34uj4lNfmY" dmcf-ptype="general">엑스레이와 CT를 기반으로, 대상을 분해하지 않고 내부를 살피는 '비파괴' 검사 장비를 사업화했는데 반도체 유리기판 분야에서도 비접촉, 비파괴 검사 수요가 발생, 신규 사업으로 추진했다.</p> <p contents-hash="80759b95b415e0105412b3acb44280ee206cbedfddbef1686c72719a8d5a7c75" dmcf-pid="087A8Sj4wW" dmcf-ptype="general">반도체 유리기판은 인텔, AMD, 브로드컴, 삼성전자 등 글로벌 기업들이 인공지능(AI) 시대를 맞아 반도체 성능을 대폭 끌어올릴 방안으로 기술 개발과 상용화를 추진하면서 관련 산업이 꿈틀대는 중이다.</p> <p contents-hash="067b421f899496081445269aca2ca6e881d11c61d90999f1270d5daa4f0db26e" dmcf-pid="p6zc6vA8ry" dmcf-ptype="general">반도체 설계 업체와 제조 업체, 그리고 기판 등 관련 소재·부품·장비 기업들이 뭉쳐 대량 양산을 실현시키기 위해 물밑에서 분주하게 움직이고 있다.</p> <p contents-hash="6fcbbff7213bc3cda3ce5adec59c6b7c92ebe6cb20a4febc5388d880f643f2f4" dmcf-pid="UPqkPTc6rT" dmcf-ptype="general">공급망을 형성하는 초기 단계에 이노메트리가 유리기판 핵심으로 여겨지는 TGV 공정에 중요 장비를 납품했다는 점에서 향후 시장 선점과 입지 확대가 기대된다.</p> <p contents-hash="b74ee9ae681f98854dad2387bf732388e27e3bc46cc28527aa33d292ffc3788d" dmcf-pid="uQBEQykPwv" dmcf-ptype="general">회사 관계자는 “이번에 계약한 두 개 회사 외에 미세 홀가공업체, 도금업체, 유리기판 반도체 제조사 등과 장비 공급 협의가 진행 중”이라면서 “연말까지 추가로 3개 업체에 총 4대의 검사장비 계약이 이어질 것으로 예상하고 있다”고 전했다.</p> <p contents-hash="0cfd8fdd319d87a08054b8e3eaa35aa490b131cac0a084fe41150a68e95a4a7d" dmcf-pid="7xbDxWEQOS" dmcf-ptype="general">이갑수 이노메트리 대표는 “기술 신뢰도를 바탕으로 다방면의 협력 기회를 확대하고, 실질적인 성과로 이어질 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.</p> <p contents-hash="ca3e6c7bb202748bc725af24c13f2a7ed5c93f1aa0cff2745f558d21855b157a" dmcf-pid="zNMTNpvaOl" dmcf-ptype="general">정현정 기자 iam@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 한종철 마이크로트 대표 "내년 흑자, 녹내장 치료 판도 바꿀것" 10-14 다음 2026 대구마라톤, 접수 시작 21일 만에 마감…4만명 참가 10-14 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
