[반도체 유니콘을 향해]<21>엠에이치디, 반도체 PR 소재 국산화 도전 작성일 11-03 35 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="6x3Q7NB3E7"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="8fb0d9edb7e520f77f8c73400aeeaf325de4e6a3913aebe7f25650f0ea5a7a14" dmcf-pid="PM0xzjb0Ou" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="이성재 엠에이치디 대표" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202511/03/etimesi/20251103150248634ffgu.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="fQMqHx5TmB" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202511/03/etimesi/20251103150248634ffgu.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 이성재 엠에이치디 대표 </figcaption> </figure> <p contents-hash="b18d9dd0894bca6de2e28e84dc36e32c6c4fa7b77b99dcbb594a8e4ed2aaaa26" dmcf-pid="QRpMqAKpwU" dmcf-ptype="general">엠에이치디는 반도체·디스플레이 제조에 필수적인 소재를 개발하는 스타트업이다. 2019년 SK하이닉스 사내벤처 프로그램 '하이개러지' 1기로 선정돼 창업했다.</p> <p contents-hash="f3b53a169a6240e174555b4b340ef583d62010f7000dc81b7663c0439d6ac6c3" dmcf-pid="xeURBc9UEp" dmcf-ptype="general">주력은 반도체 노광 공정용 소재다. 반도체 웨이퍼에 미세한 회로를 형성하기 위한 소재로, 해외 의존도가 높다.</p> <p contents-hash="0cf735a6f88efa269ed37b2ad5b3cdc1a6fe02164f1dbc75b0d52504c6a2504a" dmcf-pid="yGAYwusAr0" dmcf-ptype="general">엠에이치디는 SK하이닉스에서 노광 공정 기술을 연구했던 이성재 대표를 필두로 차별화된 소재 개발을 진행 중이다. 기존 제품과 다른 매커니즘으로 성능을 대폭 끌어올리는 것이 목표다.</p> <p contents-hash="75f0070df43c5f1860fb2c355d6de8dec40a1780808e692b32a77bcb140f852f" dmcf-pid="WHcGr7OcO3" dmcf-ptype="general">회사는 창업 3년 차인 2022년, 불화아르곤(ArF)용 실리콘 반사방지막을 개발, 양산 공정에 적용하며 기술력을 인정받았다. 빛으로 반도체 회로를 새기는 노광 공정은 광원에 따라 ArF, KrF, EUV 등으로 나뉘는데, EUV가 최신 기술이지만 ArF 역시 반도체 제조에 널리 사용된다. D램·낸드 플래시·이미지센서 등을 만들 때 필요하다.</p> <p contents-hash="5ff83435d13d6824e5a8318aa7d696d636f682059c6e157c4eee05dce7fb4026" dmcf-pid="YXkHmzIkDF" dmcf-ptype="general">EUV 하부막 기술력도 갖췄다. 10나노미터(㎚) 이하의 초미세 회로를 구현하려면 EUV 공정이 필요하다. EUV 하부막은 회로를 그리는 감광액(PR)을 단단히 지탱하는 역할을 하는 필수 소재로, 공정 과정에서 회로 패턴이 무너지거나 달라붙지 않게 하는 역할을 담당한다.</p> <p contents-hash="c52349761822f415252268c61f086f417671c55b44763ceb404e8b778f8959c0" dmcf-pid="GXkHmzIkst" dmcf-ptype="general">엠에이치디는 신규 화합물 구조로 EUV 하부막 필수 성능인 에너지(DtS) 감소와 식각 성능을 기존 보다 대폭 개선했다. 반도체 제조업체들이 첨단 반도체 생산을 위해 EUV 공정을 늘리고 있어, 향후 수요 확대가 예상된다.</p> <p contents-hash="8ea3ec7c4ab052d98db3d7ed9d37125990c097d11d9cb28a402bcb521138f1f3" dmcf-pid="HZEXsqCEO1" dmcf-ptype="general">SK하이닉스 사내 벤처로 시작했던 만큼 EUV 노광 장비 등 인프라 접근성이 좋았다. 엠에이치디 기술력 축적에 도움이 됐던 부분이다.</p> <p contents-hash="826d409d503680488bf14f4e5b2b9672c729b049a0f0faced163939c6a62749c" dmcf-pid="X5DZOBhDr5" dmcf-ptype="general">여기에 더해 KrF 네거티브 감광액(포토레지스)과 각종 PR 첨가제 개발 등 다양한 포트폴리오 확보로 시장 대응 능력을 키우고 있다. 최근 개발을 완료한 제품 중심으로 고객사 승인을 받아 출하되면서 성장 기반을 다지고 있다.</p> <p contents-hash="06e1e8c48a76ac263c2a029c05160d4560c5b2e45a1f553b6dc0debbdd96b80f" dmcf-pid="Z1w5IblwDZ" dmcf-ptype="general">이성재 엠에이치디 대표는 “반도체 공정 소재의 개발은 기술 난도와 신뢰성을 동시에 확보해야하는 사업이라 쉽게 도전하지 못하는 영역”이라며 “지치지 않고 꾸준히 노력하면 반드시 성공한다는 일념으로 반도체 제조 및 원재료 기업들과 협력해 국내 소재 생태계를 구축하는데 기여하겠다”고 밝혔다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="6784a3da0d9a195652f485f148e14c5dc275c81d74df85fb634d84e0764694f4" dmcf-pid="5tr1CKSrmX" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202511/03/etimesi/20251103150249945zcet.png" data-org-width="700" dmcf-mid="8GwJ9DfzEz" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202511/03/etimesi/20251103150249945zcet.png" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="7ea18d5d04067fcc804779cdafe9fb55dd0add8184fb74d985c67c98ddad3a35" dmcf-pid="1Fmth9vmsH" dmcf-ptype="general">※[반도체 유니콘을 향해] 시리즈는 중소벤처기업부와 창업진흥원이 지원하는 '초격차 스타트업 1000+(DIPS 1000+)' 프로젝트의 일환으로 서울대학교 시스템반도체산업진흥센터와 함께 진행한다.</p> <p contents-hash="b2a03614e8bd580f282c6331e00d1e28526930d361f2c3054d163342605008cd" dmcf-pid="t3sFl2TsOG" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 [단독] NHN클라우드, 내년 3월 LA 북미 리전 철수…해외 인프라 재편 본격화 11-03 다음 체육공단, 68개 기업 참여 '스포츠 기업 네트워킹 데이' 개최...성공사례 공유·교류 강화 11-03 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
