비아트론, 반도체 장비 사업화 추진 공식화 작성일 04-02 29 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">사업보고서 통해 밝혀...'레이저 기반 RT-CVD'에 우선 기대</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="9AOcaCe4CE"> <p contents-hash="94c24b15cbe9b20d2c07f7446d0c830bdce2bdfa00fab550e21447303bda86b8" dmcf-pid="28J6Vn71hk" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>디스플레이 열처리 장비가 주력인 비아트론이 반도체 장비 신사업 추진을 공식화했다.</span></p> <p contents-hash="c81673d67d16059b932117f981c53d7b03b55529b5f1f88aab46d2be8360d436" dmcf-pid="V6iPfLztSc" dmcf-ptype="general">비아트론은 최근 공개한 사업보고서에서 사업화를 기대하는 반도체 장비가 ▲레이저 기반 RT(Rapid Thermal)-화학기상증착(CVD) ▲다이 본더 ▲레이저 어시스티드 본더(LAB) ▲하이브리드 본더 등이라고 밝혔다.</p> <p contents-hash="004bd1c4f13b894e88f65572baafcba12a25fc321fa0050c4331490a3183da3d" dmcf-pid="fPnQ4oqFhA" dmcf-ptype="general">비아트론이 사업보고서에서 해당 반도체 장비 사업화를 추진 중이라고 밝힌 것은 이번이 처음이다. 비아트론은 지난 2022~2023년께부터 이들 장비를 개발해왔다. 디스플레이 장비에 치우친 매출 구조를 다변화하는 것이 목적이다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="4ee00eb80ba5c64cbd10250356fbb7435e4f9f0cf4e11451b3807221220d5c37" dmcf-pid="4QLx8gB3vj" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="비아트론 RT-CVD (자료=비아트론)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/02/ZDNetKorea/20260402154546677bqak.png" data-org-width="640" dmcf-mid="bt71Hqlwhw" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/02/ZDNetKorea/20260402154546677bqak.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 비아트론 RT-CVD (자료=비아트론) </figcaption> </figure> <p contents-hash="993362ec201ecb397aff3f91fd1276869ec697d2874d3b79aba1388e426253d6" dmcf-pid="8xoM6ab0lN" dmcf-ptype="general"><span>비아트론에서 우선 사업화를 기대하는 반도체 장비는 </span><span>레이저 기반 RT-CVD인 것으로 알려졌다. 이 장비는 대면적 면발광 레이저를 이용한 실리콘(Si) 기반 에피택시 증착장비다. 온도를 정밀하게 제어하고, 빨리 조절해 다층 에피막을 만들 수 있다. 실리콘과 실리콘 사이에 실리콘저마늄(SiGe)막을 얇게 적층하는 것도 가능하다.</span></p> <p contents-hash="0d32051c105c1a975e48d70e6f6160278b748b0da9322f4a4121b498117d96c9" dmcf-pid="6MgRPNKpya" dmcf-ptype="general">비아트론은 지난 2022~2024년 산업통상자원부의 '기존 장비 대비 200%의 고 생산성을 갖는 5나노미터(nm) 이하 반도체용 다층 실리콘실리콘저마늄(SiSiGe) 에피택시 장비 개발' 국책과제를 수행했다. 사업보고서의 연구개발 실적과 현황에서도 '3D 메모리용 에피택시 증착장비'를 개발 중이라고 처음 소개했다. 이 시장 주요 업체는 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)와 ASM 등이다.</p> <p contents-hash="dd2b5bc356f68e99180e96e886d6864d2f19d2c1633442d1da0fdfa6a5ef6939" dmcf-pid="PRaeQj9UTg" dmcf-ptype="general">LAB는 칩에 레이저로 1~2초가량 국부적으로 가열해 다이와 기판을 붙이는 장비다. LAB는 면발광 레이저를 사용해 기존 기술로 구현이 어려웠던 대면적 솔더링 본딩 공법을 지원한다. 온도 균일도가 높아 첨단 반도체 패키징 휨 문제와 열적 불량을 해결할 수 있다. LAB 시장에서 주력 업체는 프로텍이다. 비아트론은 향후 메모리 등 LAB 적용 품목 확대를 기대하는 것으로 알려졌다.</p> <p contents-hash="338c83c9de5c62d155db961cc23da251b73e0c0a068262588390cfbdf1456bf0" dmcf-pid="QeNdxA2uho" dmcf-ptype="general">하이브리드 본더는 웨이퍼와 이종 칩 다이를 붙이는 장비다. 이 부문에선 베시가 선도 업체다. <span> </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="893797746232b7f6e571521bdb94cce9cb9ef966895c637da964600b341d3c4c" dmcf-pid="xbPKzxtWSL" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="비아트론이 사업보고서에서 반도체 장비와 반도체 기판 장비를 신사업으로 추진하고 있다고 밝혔다. (자료=전자공시시스템)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/02/ZDNetKorea/20260402154547956qwgg.png" data-org-width="639" dmcf-mid="K271HqlwSD" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/02/ZDNetKorea/20260402154547956qwgg.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 비아트론이 사업보고서에서 반도체 장비와 반도체 기판 장비를 신사업으로 추진하고 있다고 밝혔다. (자료=전자공시시스템) </figcaption> </figure> <p contents-hash="3239da6d3ceeac62f1f148bf9c458c2e8b6a09b2d7d69f5d544160db78b6535b" dmcf-pid="yrvmEyoMWn" dmcf-ptype="general"><span>비아트론은 반도체 장비 외에, 반도체 기판 장비도 신사업으로 추진해 왔다. 반도체 기판 장비는 자회사인 비아트론시스템이 맡고 있다. 비아트론은 지난 2023년께 하이엔드 반도체 기판 플립칩(FC)-볼그리드어레이(BGA) 생산에 필요한 아지노모토 빌드업 필름(ABF) 라미네이터로 소량 매출을 올렸다.</span></p> <p contents-hash="e1805706e293cf29d9b178b1814ef50ed787653c48ba5698ae728abf94a7294c" dmcf-pid="WmTsDWgRli" dmcf-ptype="general">비아트론의 지난해 실적은 매출 651억원, 영업이익 92억원 등이다. 전년비 매출과 영업이익은 각각 12%, 36% 올랐다. 지난해 매출(651억원)에서 디스플레이 장비 매출은 88%인 572억원이었다. 과거에는 LG디스플레이 매출 비중이 컸지만, 최근에는 중국 패널 업체 매출 비중이 커졌다. </p> <p contents-hash="80d65cd4686a4d4208a868578067123e44ded891838b6f879efef07723e7cc79" dmcf-pid="YsyOwYaeyJ" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 지우고 싶은 이메일 주소…구글, ‘디지털 개명’ 허용한다 04-02 다음 노스페이스, 스포츠 클라이밍 국가대표 이도현 공식 후원 04-02 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
