PSK, 램리서치 상대 '베벨에처' 특허분쟁 또 미소...램리서치, 특허 정정 무산 작성일 04-09 27 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">대법원, 2일 램리서치 주장 기각</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="Wgpqer9UCh"> <p contents-hash="d8916b2e57d159f53f0cb9ba4ded0fae04a1397c9333a9ec29ff156b61307ab4" dmcf-pid="YaUBdm2uCC" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>PSK가 램리서치를 상대로 벌이고 있는 베벨 에처 특허분쟁에서 또 웃었다.램리서치는 </span><span>PSK 공격으로 무효가 된 특허 권리범위를 좁히려 </span><span>정정분쟁을 지속했지만 대법원이 기각했다. </span></p> <p contents-hash="b082de9a5cb5aa25664b5d70e4d0ad29e079c38145538b4050d54493c8f2b1b3" dmcf-pid="GNubJsV7CI" dmcf-ptype="general">베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 <span>형성된 불필요한 박막을 정밀하게 제거하는 장비다. </span><span>PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발하자 램리서치는 PSK에 특허 침해를 주장했다. PSK는 대응 차원에서 특허무효분쟁을 시작했다. </span></p> <p contents-hash="0e0bb025c73a23c6c81dbbeed1b683899dfa46e9aca8dcc0ad46cb25b8c888a8" dmcf-pid="Hj7KiOfzCO" dmcf-ptype="general"><span>대법원은 지난 2일 램리서치의 '갭이 제어되는 베벨 에처' 특허(등록번호 1433411)의 권리범위 분쟁 상고심에서 원고인 </span><span>램리서치 주장을 기각했다. </span><span>램리서치는 해당 특허 권리범위를 좁히려 정정심판 등을 이어왔지만 </span><span>2025년 4월 특허심판원, 2025년 11월 특허법원이 모두 받아들이지 않았고, </span><span>이번에 대법원 판단도 같았다</span><span>. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="284423c4416aba08b26b03c6e835cf5aacea0cf028be65d979076259efad5277" dmcf-pid="XAz9nI4qTs" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="베벨에처 (자료=PSK)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/09/ZDNetKorea/20260409001027361knap.png" data-org-width="640" dmcf-mid="yzwIt4Srhl" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/09/ZDNetKorea/20260409001027361knap.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 베벨에처 (자료=PSK) </figcaption> </figure> <p contents-hash="2b4f67f9b23176aa7f6a5fdeef1f1c2a1f981779615829eb5a68bd41d415692a" dmcf-pid="ZL37MDb0Wm" dmcf-ptype="general"><span>램리서치가 해당 특허 </span><span>정정을 주장한 </span><span>것은, </span><span>PSK가 이 특허를 무효로 만들었기 때문이다. 일반적으로 특허권자는 특허의 특정 청구항(권리범위)이 무효가 되면 특허권을 지키기 위해 권리범위를 좁히는 </span><span>정정심판을 청구한다. 정정 청구가 </span><span>받아들여져 </span><span>권리범위가 좁아지면 경쟁사를 상대로 특허 침해를 주장하긴 어려워도 특허권은 유지할 수 있다. </span></p> <p contents-hash="f0250ac57790dbb3f866111547a6f196b00111a1f8ab15489e8d966c9c331ac4" dmcf-pid="5o0zRwKplr" dmcf-ptype="general">PSK는 지난 2025년 5월 특허심판원 무효심판(환송사건)에서 램리서치의 해당 특허 청구항 1~2항, 5항, 13항, 19~20항을 무효로 만들었다. 램리서치는 특허심판원 결정(심결)에 불복하고 2025년 8월 특허법원에 항소했다. 이 소송(심결취소소송)은 아직 진행 중이다. </p> <p contents-hash="a91e909825b984b583e7d17a717bd34030eca6e92b6e0fd2ec9e9cd85a1b8820" dmcf-pid="1gpqer9Uvw" dmcf-ptype="general"><span>이번에 대법원이 램리서치 주장을 </span><span>기각한 특허는 램리서치와 PSK 양측 사이 특허 무효분쟁이 </span><span>끝나지 않은 2건</span><span>(등록번호 1433411·1468221) 중 1건(1433411)이다. </span></p> <p contents-hash="91d99804871ef420434df51f12e881990ea88a4bd45749f9a99927923f67ee76" dmcf-pid="taUBdm2uWD" dmcf-ptype="general"><span>또 다른 </span><span>1건(1468221)</span><span>도 정정심판과 무효심판이 남아있다. 이 특허에 대해선 2024년 8월 특허법원이 </span><span>무효라고 </span><span>판단했기 때문에 </span><span>PSK가 </span><span>유리하다. </span><span>해당 </span><span>무효분쟁은 </span><span>특허심판원으로 </span><span>환송됐다. </span></p> <p contents-hash="313fd1c0ce0976be9d9ebb70d2b2c359e48e40bd2e27e68b60261e0f4daabbd2" dmcf-pid="FNubJsV7yE" dmcf-ptype="general">PSK가 <span>램리서치를 상대로 제기한 특허 무효분쟁에선 PSK가 전체적으로 우위에 있다. </span><span>PSK는 지난 2021~2022년 램리서치 특허 4건, 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 무효분쟁을 시작했다. 램리서치는 참엔지니어링 특허 2건의 전용실시권자(독점 사용자)다.</span></p> <p contents-hash="2decc7421b79e58a4dbfd6cec918671be6d61be7101f008100d817f1b04f2e9a" dmcf-pid="3j7KiOfzlk" dmcf-ptype="general">PSK가 램리서치 특허 4건을 상대로 제기한 무효분쟁 중 2건(등록번호 1441720·1265827)에서 PSK가 이겼다. <span>PSK가 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 제기한 </span><span>무효분쟁</span><span>에선 PSK(등록번호 </span><span>1433769)와 참엔지니어링(등록번호 </span><span>1249247)이 1건씩 </span><span>승리했다. </span></p> <p contents-hash="7018e4202eaaec952a229c16fe0e1b59ec85368e4985d3a2997eea73b7b14c2b" dmcf-pid="0Az9nI4qhc" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 '공유 닮은꼴' 31번지 경수, 직업은 안경원 사장..."30대 모토는 돈 많이 벌기" ('나는 솔로') [순간포착] 04-09 다음 '올림픽 왜 관 둬?' 최민정, 쇼트트랙 대표 선발전 여자 500ｍ 1위…아직 떠날 때 아닌가 04-09 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
