동진쎄미켐, "美신너 공장 하반기 양산 가동"...삼성전자와 특허 공동 출원 작성일 04-11 34 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">동진쎄미켐, 작년 삼성전자 매출 비중 59%...7060억원</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="WqAmmeXSTT"> <p contents-hash="05da47e449a6b7cae71bef8e826338d9a827f1d9a1d8d760f4e1d9a168a8981f" dmcf-pid="YBcssdZvvv" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>동진쎄미켐이 올해 하반기 미국 텍사스 신너 공장을 양산 가동한다고 밝혔다. 이곳은 삼성전자 테일러 팹에 대응할 예정이다. </span><span>동진쎄미켐은 삼성전자와 신너 특허도 한국과 미국 등에 공동 출원(신청)했다. </span></p> <p contents-hash="efe624413432637c7516846c3d3d2bcbcb48a532e21c12b5d30bba7864c0db71" dmcf-pid="GbkOOJ5TSS" dmcf-ptype="general">동진쎄미켐은 지난 9일 기업설명회에서 '미국 시장 진출과 중장기 성장동력'과 관련해 "2600억원을 투자해 텍사스주에 건설한 신너 및 고순도 황산 공장을 통해 글로벌 반도체 공급망 입지를 강화하고 있다"며 "2026년 하반기 양산 예정인 신너 공장은 이미 대형 수주를 확보한 파운드리 고객사의 현지 공장에 납품할 예정"이라고 밝혔다. </p> <p contents-hash="47c2118ef273646304e2048caa756090b5e0c9f47ab9a1650f9884623e463cc4" dmcf-pid="HKEIIi1yCl" dmcf-ptype="general">또, 동진쎄미켐은 "삼성물산 및 마틴과 합작 설립한 고순도 황산 공장은 미국 정부 소재 자립화 정책에 따른 수혜를 누릴 것"이라고 기대했다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="0cd8c376c71b371feb0a1965bccc5035dc9edc3ad705bae2b4501ea5a37ca602" dmcf-pid="X9DCCntWlh" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="(자료=동진쎄미켐)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/11/ZDNetKorea/20260411222346696kbjy.png" data-org-width="640" dmcf-mid="QZrDCntWCe" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/11/ZDNetKorea/20260411222346696kbjy.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> (자료=동진쎄미켐) </figcaption> </figure> <p contents-hash="f65be4e43ef6472f3f128441e4f9484edaaca22fe916ed082af32057cedb1600" dmcf-pid="Z9DCCntWWC" dmcf-ptype="general"><span>동진쎄미켐이 텍사스 신너 공장에서 만든 제품을 </span><span>납품할 예정이라고 밝힌 파운드리 고객사의 현지 공장은, 삼성전자가 </span><span>텍사스주 테일러시에 짓고 있는 파운드리 공장(테일러 팹)을 말한다. </span></p> <p contents-hash="9a179ff357c3f25fe2ca593a8e3011676f7b773d98def36e27d80276062eb3df" dmcf-pid="52whhLFYWI" dmcf-ptype="general"><span>삼성전자는 사업보고서에서 "반도체(DS) 부문 파운드리 사업부가 테슬라로부터 165억달러 반도체 위탁생산을 수주했다"고 밝혔다. 계약 체결일은 2025년 7월, 계약 종료일은 2033년 12월이다. </span><span>삼성전자는 테일러 팹을 2022년에 착공했고, 올해 </span><span>가동할 예정이다. </span></p> <p contents-hash="2a8b21b5fe1782bd24045f4adbc1cd0597b5e32dfe8d414daff832c3a95aaf1a" dmcf-pid="1Vrllo3GTO" dmcf-ptype="general">동진쎄미켐은 기업설명회 자료에서 신너에 대해 "감광액 회전 도포(스핀 코팅) 후 웨이퍼 가장자리의 불필요한 감광액을 없애는 공정(EBR:Edge Bead Removal)에 사용한다"며 "감광액 사용량 절감 코팅(RRC:Resist Reduced Coating) 공정으로 (중략) 감광액 사용량을 줄일 때도 사용한다"고 설명했다. 이어 "일반 신너보다 감광액 사용량을 50%까지 줄일 수 있고, 감광액이 불룩하게 솟아오른 높이(Hump Height)를 낮춰 생산수율을 높일 수 있다"고 덧붙였다. <span>감광액 </span><span>사용량이 </span><span>줄면 </span><span>삼성전자 </span><span>파운드리 </span><span>공정 </span><span>가격 </span><span>경쟁력을 </span><span>높일 </span><span>수 </span><span>있다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="6be740d0f0f69e2ec9c73b21fd613b1ce74bdaca40b1f16218a9f5a49b9ad128" dmcf-pid="tfmSSg0Hys" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="(자료=동진쎄미켐)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/11/ZDNetKorea/20260411222347960bnhj.png" data-org-width="639" dmcf-mid="xRDwhLFYhR" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/11/ZDNetKorea/20260411222347960bnhj.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> (자료=동진쎄미켐) </figcaption> </figure> <p contents-hash="d5ee2024cb774f846e339d83d31ac7464697f4f223364dbaf1879a86748f0886" dmcf-pid="F4svvapXlm" dmcf-ptype="general"><span>신너에 대한 설명은 동진쎄미켐이 삼성전자와 특허로 공동 출원한 기술 '신너 조성물 및 이를 이용한 반도체 기판의 표면처리 방법'(출원번호 10-2023-0039213)에서도 볼 수 있다. </span></p> <p contents-hash="d339e4c67f5270e7f1affae506795f00e389ac074b41a9369dbe15c39d987371" dmcf-pid="38OTTNUZlr" dmcf-ptype="general">특허명세서에서 동진쎄미켐과 삼성전자는 "이 특허는 RRC와 EBR 성능을 개선한 신너 조성물과 배관 세정 능력이 우수한 신너 조성물 및 이를 이용한 기판 표면처리 방법을 제공한다"며 "불화크립톤(KrF) 및 불화아르곤(ArF)용 감광액뿐만 아니라 극자외선(EUV)용 감광액까지 범용적으로 사용할 수 있다"고 밝혔다. </p> <p contents-hash="39d4a1b515bdc5051009fc2a349a12a93ab0f2c6c00ccd250a7d4cd55f4aebee" dmcf-pid="06Iyyju5lw" dmcf-ptype="general">특허 출원 시점은 2023년 3월이다. 그 이전부터 동진쎄미켐과 삼성전자가 관련 기술을 함께 연구한 것으로 보인다. 두 기업은 해당 특허에 대해 지난달 심사를 청구했다. 한국에선 특허 출원 후 최장 3년까지 심사 청구를 늦출 수 있다. 미국과 중국에도 패밀리 특허를 출원했다. </p> <p contents-hash="1a20284ebb6a080c2fbd1f707e322569cef98dc5a1375028c0f9e44377cb875c" dmcf-pid="pPCWWA71lD" dmcf-ptype="general">연도별 동진쎄미켐 매출에선 삼성전자 매출과 비중이 커지고 있다. 지난해 동진쎄미켐 전체 매출 1조1941억원 중 59%인 7061억원이 삼성전자에서 나왔다. 지난해 매출 감소에 대해 동진쎄미켐은 "중국 디스플레이 법인 매각 예정에 따른 중단영업손익을 반영했다"고 설명했다. </p> <p contents-hash="49e9e0b45b0777909e3e0f77d764d38281c0ba44942ef4d985d6c2df8ff728bc" dmcf-pid="UOB441gRWE" dmcf-ptype="general"><span>동진미켐은 지난 2022년 국내 최초로 EUV 감광액을 상용화했다. 지난 2019년 일본 정부의 소재 수출 규제 이후 한국 정부의 </span><span>소부장 국산화 지원 속에 </span><span>동진쎄미켐은 삼성전자 등과 </span><span>EUV 감광액 국산화를 위해 노력했다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="282f633b713e1aead156dd64f971e4d6699b94b90490c16aaabd2f62feb9fa22" dmcf-pid="uIb88taeWk" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="연도별 동진쎄미켐 매출 (자료=전자공시시스템)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202604/11/ZDNetKorea/20260411222349224vgys.png" data-org-width="637" dmcf-mid="yn0pbYd8CM" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202604/11/ZDNetKorea/20260411222349224vgys.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 연도별 동진쎄미켐 매출 (자료=전자공시시스템) </figcaption> </figure> <p contents-hash="1794e2667d3ba49990c51f84a837c6b59dc00a38a9c4ca81cdcd0fe4c74049ec" dmcf-pid="7CK66FNdSc" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 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