예스티, HPSP 특허 1건 무효화...고압수소어닐링 장비 기술 작성일 05-29 48 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">특허심판원, 28일 심결</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="punt03yOgC"> <p contents-hash="bff230e8bd68e7e5edc50995602b76654d5bfa9d778411b534fe615157f2c9c0" dmcf-pid="U7LFp0WIAI" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>예스티가 HPSP 특허 1건을 무효화했다. </span><span>해당 특허는 HPSP가 예스티를 상대로 두 번째 특허침해소송을 제기하며 사용한 특허다. </span></p> <p contents-hash="58baa1fd62a8caffa0350d101a5c00df38a7da6157bbbd12a83b5682f388530f" dmcf-pid="uzo3UpYCkO" dmcf-ptype="general">두 업체는 고압수소어닐링(HPA) 장비 시장을 놓고 특허분쟁 중이다. HPSP가 과거엔 이 시장을 독점했지만, 예스티가 지난해 말부터 시장에 진입했다. 지난 3월 예스티는 고압수소어닐링 장비 첫 출하식을 열었다. </p> <p contents-hash="2192156dd0f681c97c1d75d6b9b37c93d5020bf6560e5b7b613a481647d2df9b" dmcf-pid="7qg0uUGhjs" dmcf-ptype="general"><span>29일 </span><span>업계에 따르면 특허심판원은 지난 28일 HPSP의 '고압가스 열처리를 위한 방법 및 장치' 특허(등록번호 0766303, 아래 303 특허)가 무효라고 판단(심결)했다. </span></p> <p contents-hash="e9ad4caae29c9f7ec02353f24fd15f612f0016ac1ab23418eafaea8fa2dbe2ac" dmcf-pid="zBap7uHlam" dmcf-ptype="general"><span>예스티가 지난 2023년 12월 303 특허의 청구항(권리범위) </span>1~7항, 9~37항, 39~40항이 특허성이 없다며 무효심판을 청구했는데, 이번에 특허심판원이 받아들였다. 이 <span>특허는 고압수소어닐링 장비 이중벽 구조를 설명하고 </span><span>있다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="73233c9dfb1867555314908936a112e85adc293c50b515f2054cbcbd239e0316" dmcf-pid="qbNUz7XSgr" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="(사진=예스티)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/29/ZDNetKorea/20260529083159602pczi.png" data-org-width="638" dmcf-mid="3RMFp0WIAl" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/29/ZDNetKorea/20260529083159602pczi.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> (사진=예스티) </figcaption> </figure> <p contents-hash="603a5c1e54ca5ed60d459fe74f72a0e194083f6e46aa84bb83df2083af1e8d6f" dmcf-pid="BKjuqzZvgw" dmcf-ptype="general"><span>예스티 관계자는 "HPSP가 해당 특허를 유지하기 위해 무효심판 과정에서 </span><span>특허를 5차례 정정하면서 예스티 제품 구조, 그리고 작동방식과 전혀 다른 특허가 됐다"고 </span><span>밝혔다. 이어 "권리범위가 당초 이중벽 구조 관련 기술에서 </span><span>가스배출 관련 기술로 축소됐지만 결국 무효가 됐다"고 덧붙였다. </span></p> <p contents-hash="0000af60d967b2fabe0e4767b0c8e6d90fa87c2edef6773d34a15dcb3623af00" dmcf-pid="bpJ5FtvmjD" dmcf-ptype="general">HPSP가 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있지만, 당장 303 특허에 대해선 예스티가 유리한 고지를 점했다. 특허가 최종 무효가 되면, HPSP가 제기한 두 번째 특허침해소송을 진행할 필요가 없다. </p> <p contents-hash="03dc29d0a3d4b35976229f7d2b4b284aeeb7c8acb546b8f479ff11790209b47b" dmcf-pid="KUi13FTsNE" dmcf-ptype="general">두 업체<span> 분쟁에서 가장 중요한 특허는 HPSP의 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'(등록번호 1553027, 아래 027 특허)다. </span><span>HPSP가 예스티를 상대로 2023년 8월 서울중앙지방법원에 첫 번째 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허가 027 특허 1건이다</span><span>. </span></p> <p contents-hash="bc02d98ade0d186bc52fd02e78d02afb4154ead9d6ce08d5b889b149e0771d4a" dmcf-pid="9unt03yOjk" dmcf-ptype="general"><span>6월 중순 027 특허에 대한 특허법원 판결이 나온다. 앞서 특허심판원은 027 특허 무효심판에선 유효라고 판단했고, </span><span>소극적 권리범위확인심판(비침해 주장</span><span>)에선 예스티가 해당 </span><span>특허를 </span><span>침해하지 </span><span>않았다고 </span><span>판단한 </span><span>바 </span><span>있다. </span><span>양측은 </span><span>각각 </span><span>특허법원에 </span><span>항소했다. </span><span>특허법원 판결 내용은 </span><span>서울중앙지법에 접수된 첫 번째 </span><span>특허침해소송에도 영향을 미친다</span><span>. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="02d10a9262120759b1ca399c8ff06f9252db2769125240d6a72cd8c0f5f17949" dmcf-pid="27LFp0WIcc" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/29/ZDNetKorea/20260529083200870btua.png" data-org-width="639" dmcf-mid="0nFNcAe4gh" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/29/ZDNetKorea/20260529083200870btua.png" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="654fac06b6c101b149537e5fc5d955b9b9cb281c217966c0c7c944381ff5ba1a" dmcf-pid="Vzo3UpYCcA" dmcf-ptype="general"><span>예스티는 지난 2023년 HPSP가 </span><span>첫 번째 특허침해소송을 제기하자, 소송에 사용된 027 특허를 포함해 </span><span>HPSP의 </span><span>특허 6건을 상대로 무효심판과 소극적 </span><span>권리범위확인심판 등을 </span><span>청구했다. HPSP가 추가 특허침해소송을 </span><span>제기할 가능성이 있다고 봤기 때문이다. </span></p> <p contents-hash="47f5f26e3cbe018fcf138d712dd4e6be413be281fa6a77e4340422b123f05094" dmcf-pid="fqg0uUGhkj" dmcf-ptype="general">특허법원 판단을 기다리고 있는 027 특허, 그리고 <span>이번에 </span><span>특허심판원이 무효라고 판단한 </span><span>303 특허 외에 다른 </span><span>HPSP 특허 4건에 대한 </span><span>특허심판원 판단은 확정됐다. 나머지 특허 4건에 대해 특허심판원은 </span><span>예스티 제품과 무관한 기술이라는 등의 판단을 했고, 양측은 불복하지 않았다. 전체 특허분쟁에선 예스티가 앞서 있다. </span></p> <p contents-hash="49e20f81047de39c0d9de41816291f56eae009111553695fd7c75d9ad0850145" dmcf-pid="4Bap7uHljN" dmcf-ptype="general"><span>고압수소어닐링 장비는 반도체의 실리콘 산화막 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용한다. 과거 이 시장은 HPSP가 독점했지만 지난해 말 예스티의 진입으로 독점이 깨졌다. 지난달 특허법원에서 열린 027 특허 관련 소송 변론기일에 HPSP는 </span><span>준비서면을 통해 </span><span>"삼성전자와 SK하이닉스, TSMC 등 유수 기업에 장비를 납품하고 있으므로, 이 사건 특허발명이 원고(HPSP)의 고압수소어닐링 장비 경쟁력에 기여했고, 이를 통해 기술력을 인정받았다"고 밝히기도 했다. </span></p> <p contents-hash="a9004c5afb2f8c06b166461475516d21252ea249c96551b0717c6c3ee3ff3524" dmcf-pid="8bNUz7XSoa" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 '韓 유일' UFC 여성 파이터 도전, 박보현 RTU 출격... 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