"우주망원경 만들던 기술로 EUV장비 부품 만들죠" 작성일 07-21 32 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">獨반도체 소부장 현장 가보니<br>렌즈 제작사 칼자이스의 변신<br>매출 38% 반도체사업서 나와<br>세계최고 레이저 기업 트럼프<br>ASML과 EUV장비 공동개발</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="HlSDIoiPTZ"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="13c7ef9eaa0979608fcdadde41174f592e232e14be43f701e25113627d57959d" dmcf-pid="XSvwCgnQCX" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="독일 디칭겐에 있는 트럼프 공장에서 ASML EUV에 들어가는 레이저 장비를 작업자가 테스트하고 있다. 트럼프" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202607/21/mk/20260721174814609ywtf.jpg" data-org-width="1000" dmcf-mid="G0FyZswal5" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202607/21/mk/20260721174814609ywtf.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 독일 디칭겐에 있는 트럼프 공장에서 ASML EUV에 들어가는 레이저 장비를 작업자가 테스트하고 있다. 트럼프 </figcaption> </figure> <p contents-hash="756cf6bf42bbc1d22e47da14d6ad7e87ac4ff65f62b8d0dd5b28554018e2aa5d" dmcf-pid="ZvTrhaLxhH" dmcf-ptype="general">독일 자동차 산업 심장으로 꼽히는 도시 슈투트가르트. 이곳에서 차량으로 북서쪽 30분가량 떨어진 소도시 디칭겐에는 세계 최고 레이저 기업으로 손꼽히는 트럼프의 공장이 있다.</p> <p contents-hash="d577045d0ffdbed0f86acd80dcd29190e0d95e3e1709ac7bfb862569033d58e9" dmcf-pid="5TymlNoMSG" dmcf-ptype="general">트럼프는 지난 15일(현지시간) 한국과 일본, 대만 언론을 초청해 세상에서 가장 특수한 레이저 장비 제조 현장을 공개했다. 이곳에 들어가기 위해서 기자들은 방진복을 입어야 했다. 이 레이저 생성 모듈은 첨단 기술 결정체인 ASML의 EUV(극자외선) 노광장비에 들어가기 때문이다. EUV 장비는 중국 반도체 기술 발전이 더딘 가장 큰 병목 지점으로 꼽힌다.</p> <p contents-hash="008e374ee5275a2a105de33e33dd227644d67da246297f457044e6ccdfd51ec3" dmcf-pid="1yWsSjgRlY" dmcf-ptype="general">트럼프의 레이저가 반도체 회로를 그리는 미세 공정에 적용되는 과정은 그 자체가 과학적인 경이다. 초당 5만 방울이 떨어지는 주석 방울에 2개의 레이저가 차례로 발사된다. 첫 레이저는 동그란 주석 물방울을 원반 형태로 변화시킨다. 이어 두 번째 레이저가 이 원반에 발사되면 50만도까지 온도가 올라가면서 플라스마 현상이 발생한다. 이 플라스마에서 13.5㎚ 파장의 극자외선이 만들어진다.</p> <p contents-hash="b1bbfe52725861bf06adf12fcc1375093c6e204624148ebbe789d7b7a2b9c039" dmcf-pid="tWYOvAaeCW" dmcf-ptype="general">이곳에서 만난 베르톨트 슈미트 트럼프 최고기술책임자(CTO)는 "ASML과 함께 레이저 출력을 800W로 높이는 기술을 개발하고 있다"며 "이를 통해 EUV 노출시간을 크게 줄일 수 있다"고 설명했다. 웨이퍼당 EUV 노출 시간이 줄어들면 반도체 생산량도 많이 늘어나게 된다.</p> <p contents-hash="cb49233c9359f24bbff8682c492b435f1531cf4993cf931d376c8694bd447c75" dmcf-pid="FgaMn2b0Sy" dmcf-ptype="general">플라스마 현상으로 생성된 극자외선은 여러 개의 거울에 반사돼 반도체 회로를 그리는 데 사용된다. 일반 거울에서는 자외선이 흡수되기 때문에 원자 단위의 정밀한 굴곡을 가진 거울이 필요하다. 이 거울을 만드는 회사가 렌즈로 유명한 독일 칼 자이스다. 칼 자이스 공장은 디칭겐에서 1시간가량 떨어진 오버코헨에 있다.</p> <p contents-hash="7137ae968b92d8a0b1c7de905875fe8c287cc6ccf5fd5156f9ff0bedb6001f29" dmcf-pid="3aNRLVKphT" dmcf-ptype="general">오버코헨 본사에서 만난 토마스 스탬러 칼 자이스 CTO는 "EUV에 사용되는 칼 자이스의 거울은 기존에 우주망원경을 만드는 데 사용되는 기술이었다"며 "이 기술을 하루에도 수백 장의 웨이퍼를 처리하는 양산 과정에 사용할 수 있게 된 게 놀라운 부분"이라고 설명했다.</p> <p contents-hash="f4e43a9ce0229a85c6db37be6b78465e3a1bc5df9ffce258638651f2f977644e" dmcf-pid="0Njeof9Ulv" dmcf-ptype="general">독일 소부장 기업 3사는 반도체 산업을 미래 성장 산업으로 보고 많은 투자를 하고 있다. 머크는 세계 대표 화학 기업 중 하나로 헬스케어와 생명과학 분야 비중이 여전히 높지만 많은 인수·합병을 통해 최근 전자 사업을 강화했다. 한국 내 인력만 1800명에 달한다. </p> <p contents-hash="330dd1d212ca6808d18fa16058d5d1d1b0c7b17dfabed9e4bf340337e6a63ecf" dmcf-pid="pjAdg42uyS" dmcf-ptype="general">칼 자이스의 경우 2024년 기준 전체 매출의 38%가 이미 반도체 제조 사업 부문에서 나오고 있다. ASML의 EUV와 DUV(심자외선) 장비에 부품을 공급하는 것 외에도 자체 포토마스크 장비나 3D 반도체 관련 장비를 만들고 있다. 고객들과 협력 강화를 위해 지난 7월 이노베이션 센터를 세계 최초로 한국에 설립했다. 트럼프도 전체 43억유로 매출 중 10억유로 정도가 반도체 부문 고객에게서 나오고 있다. </p> <p contents-hash="816208777ba6da0de363b28a80a6768c88c20148fd27a119309728e3069c8401" dmcf-pid="UAcJa8V7Cl" dmcf-ptype="general">[디칭겐(독일) 이덕주 기자]</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 매일경제 & mk.co.kr. 무단 전재, 재배포 및 AI학습 이용 금지</p> 관련자료 이전 대인관계 불안정한 경계성인격장애, 유전적 단서 최초 발견 07-21 다음 전 세계 뒤흔든 키미3…“그 창업자 왜 中에 뺏겼나” 美의 한탄 [팩플] 07-21 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
