'유진테크와 특허분쟁' 코쿠사이, 특허 1건 유효 판단...'정정 4번' 권리범위↓ 작성일 07-26 35 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">특허심판원 22일 심결</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="7OH6mBztj1"> <p contents-hash="306713c5593239f90318bc9a0490090a2548758ce93bd8efed9988001f3921ff" dmcf-pid="zIXPsbqFa5" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>유진테크와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이가 특허 1건에 대해 유효라는 판단을 받았다. 쟁점 특허 4건 중 특허심판원 판단이 나오지 않은 마지막 특허였다. 하지만 이 특허는 4차례 정정으로 권리범위가 좁혀졌기 때문에, 코쿠사이가 </span><span>유진테크의 특허침해를 입증하기 쉽지 않을 것으로 예상된다.</span></p> <p contents-hash="3af3c0ade571bb2dbb0ae7cbe0df7896ff47ade9431352d1d043a2af8afcbb63" dmcf-pid="qtKA5Je4cZ" dmcf-ptype="general">특허심판원은 지난 22일 코쿠사이의 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허) 무효심판에서 유진테크 청구에 대해 '일부기각·일부각하' 심결했다. 유진테크 청구를 모두 받아들이지 않은 것으로, 특허심판원은 '644 특허가 유효라고 판단했다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="f865231816daaeec06db6c34bf20259297ecc9710e6c245fad70cd5c462e7182" dmcf-pid="BF9c1id8jX" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="유진테크 해리어 (사진=유진테크)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202607/26/ZDNetKorea/20260726182937920oekv.png" data-org-width="639" dmcf-mid="Uy3dS4V7aF" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202607/26/ZDNetKorea/20260726182937920oekv.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 유진테크 해리어 (사진=유진테크) </figcaption> </figure> <p contents-hash="8a96d7830fd8b9e2c8ee312a8ec51f5c958a6650bd16ee7261b984492099b065" dmcf-pid="b32ktnJ6gH" dmcf-ptype="general">하지만 코쿠사이의 '644 특허는 권리범위가 좁혀졌다. <span>코쿠사이가 '644 특허 무효심판 과정에서 특허를 4차례 정정했기 때문이다. </span><span>일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 특허권자가 청구한다. </span><span>이번 특허심판원 무효심판 심결에 대해 유진테크는 특허법원에 항소(심결취소소송)할 수 있다.</span></p> <p contents-hash="6f3348e5929e2b26bf74b9cb54122434166a002d35466163647ea9351169fd69" dmcf-pid="K0VEFLiPkG" dmcf-ptype="general">유진테크와 코쿠사이가 다투는 코쿠사이 특허는 모두 4건이다. 코쿠사이가 유진테크를 상대로 특허 4건을 사용해 지난 2024년 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기하자, 유진테크는 대응 차원에서 쟁점 특허 4건에 대해 특허심판원에 무효심판을 청구했다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="75397a6485a22e47dd50832adb430891012daf499876c900c0947536aa1c1913" dmcf-pid="9pfD3onQkY" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202607/26/ZDNetKorea/20260726182939166niya.png" data-org-width="640" dmcf-mid="umhBNF1yNt" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202607/26/ZDNetKorea/20260726182939166niya.png" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="b2dcb77f4e3f7e52339df637135c316463288a5ffdd00f66f116d931194a69b9" dmcf-pid="2U4w0gLxoW" dmcf-ptype="general"><span>특허심판원에서 시작한 무효분쟁에선 유진테크가 대체로 앞서고 있다. </span></p> <p contents-hash="722093b7fb8df7d18293e5cc116e4bfc97f39732e31a037377c2f00f9c0a3baf" dmcf-pid="Vu8rpaoMgy" dmcf-ptype="general">유진테크는 이달 중순 특허법원에서 코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)가 유효라는 판결을 받았다. 앞서 특허심판원이 '052 특허는 유효라고 심결했지만 특허법원이 이를 뒤집었다. 또, 특허법원은 '052 특허에 대한 코쿠사이의 정정심판 청구를 기각했던 특허심판원 심결을 유지했다. </p> <p contents-hash="07391966bd0445a20bb9aee182ffbcf85f4f9b7e3fad92aefcff66974ff14a07" dmcf-pid="f76mUNgRaT" dmcf-ptype="general">특허법원은 지난 5월 코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, 아래 '961 특허)에 대해서 일무 무효(일부성립일부기각)라는 특허심판원 판단을 유지한 바 있다. </p> <p contents-hash="ecfe73397d89936ea396aff3e1bbd57d9a5c08fdc603e7f2c4f692f72374d31f" dmcf-pid="4zPsujaecv" dmcf-ptype="general"><span>앞서 특허심판원은 지난 2024년 12월 코쿠사이의 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 유진테크의 주장 중 7항을 빼고는 특허심판원이 모두 받아들였다. 특허법원도 유효라고 판결한 7항은 변수가 될 수 있다. 코쿠사이는 '961 특허도 정정하려고 했지만 특허법원은 받아들이지 않았다. </span></p> <p contents-hash="beacbc4b4d766dc2756bbcc449f585e239bfa58870718a8da473afd90721465f" dmcf-pid="8qQO7ANdjS" dmcf-ptype="general"><span>'961 특허의 쟁점 청구항이 대부분 무효라고 판단한 특허법원 판결에 대해 코쿠사이는 대법원에 상고했다. 특허사건은 대법원에서 결론이 바뀌는 경우가 많진 </span><span>않다. </span></p> <p contents-hash="bae4a8184b1e000cd28981f8676aa9401c6465404dc50c9c5961bc19ea83b2db" dmcf-pid="6BxIzcjJkl" dmcf-ptype="general"><span>코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법 및 기록매체'(등록번호 1969277)에 대해 특허심판원은 2025년 12월 일부 청구항이 무효라고 심결했다. 특허심판원 심결에 대해 쌍방이 특허법원에 항소했다.</span></p> <p contents-hash="f9a5546a8949af155defbeb9b99922b2bb4b764c7e09b58ad7bd29b438110c6e" dmcf-pid="PbMCqkAigh" dmcf-ptype="general">코쿠사이는 과거 삼성전자의 특정 공정용 ALD 장비를 독점 공급해왔는데, 유진테크가 이 시장에 진입하면서 특허분쟁이 시작됐다. </p> <p contents-hash="a9004c5afb2f8c06b166461475516d21252ea249c96551b0717c6c3ee3ff3524" dmcf-pid="QtKA5Je4gC" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 뒤처지는 것보다 과잉투자가 낫다… AI 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