미국 제재 뚫고 DUV 자체 양산…중국, ASML 독점 구도에 균열 내나 작성일 07-28 20 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">[인더스트리 AI] 자체 심자외선 노광장비 양산 착수…SMIC·화홍·CXMT에 연내 공급</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="4UGZOZHlhn"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="fa50ca9fc661786849705121c419339b859d1c5b76c311d8becbc587a9a8bc1b" dmcf-pid="8gQRBRx2hi" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202607/28/552796-pzfp7fF/20260728100641551ngmg.png" data-org-width="640" dmcf-mid="fshvcvlwSL" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202607/28/552796-pzfp7fF/20260728100641551ngmg.png" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="763fdad37e161b1b68a59736affc98fef3542735fd5fcef111b8a51e4365299e" dmcf-pid="6axebeMVCJ" dmcf-ptype="general">[디지털데일리 김문기기자] 중국 국영 스타트업이 자체 개발한 액침 심자외선(DUV) 노광장비의 초기 양산에 돌입하고 연내 자국 반도체 주요 기업에 초도 물량을 공급한다.</p> <p contents-hash="59c353a7149ee162fc26989eb5ef233978957719c3d1e13a31ab2bbba1164a53" dmcf-pid="PNMdKdRfvd" dmcf-ptype="general">28일(현지시간) 톰스하드웨어(Tom's Hardware) 및 더인포메이션(The Information) 등 복수 외신에 따르면 이번에 양산되는 국산 노광장비는 중핵 파운드리 업체인 SMIC와 화홍반도체, CXMT 등 3개 사에 우선 인도된다고 전했다.</p> <p contents-hash="1bf5b80874f2a50092dbe91b2c406396e0cd314b06391d2fdccdc2745902f1fd" dmcf-pid="QjRJ9Je4Ce" dmcf-ptype="general">출하 목표는 올해 약 5대, 2027년 약 20대 규모로 설정됐으며, 상하이 유량성테크놀로지를 비롯한 복수 중국 기업의 연구개발 인력이 집결해 핵심 공정을 이끌어온 것으로 나타났다. SMIC는 이미 지난 지난해 9월부터 해당 액침 노광장비의 실증 테스트를 진행해 왔다.</p> <p contents-hash="0e15a34daf0ae37649e7643202153c9c03366892dbbd39e58c9b9e141cf4543b" dmcf-pid="xAei2id8vR" dmcf-ptype="general">중국산 액침 DUV 장비는 회로 패턴을 형성하는 핵심 반도체 제조 설비로, 미국 등 서방 제재로 극자외선(EUV) 장비 도입이 차단된 중국 반도체 생태계의 유일한 활로다.</p> <p contents-hash="d9b092af23f4a35aa1cf91a229648bea303b92bebead0f78a30cf28965c5f8fb" dmcf-pid="yUGZOZHlWM" dmcf-ptype="general">단일 노광 시 28나노미터(nm) 공정을 구현하며 멀티패터닝 기술을 결합하면 7나노미터 공정 생산까지 가능하다. 시스템 부품의 상당수가 자국산으로 대체됐으나 정밀 광학 등 일부 핵심 부품은 여전히 일본 공급망에 의존하고 있어 현지 부품 수급 지연이 초기 수율 확보의 변수로 꼽힌다.</p> <p contents-hash="faf7c7157db98f53bdf6e263801725082779f0baff64f6b2f10dbc8439ef8364" dmcf-pid="WuH5I5XSlx" dmcf-ptype="general">더욱이 세계 시장의 98.7%를 점유한 네덜란드 ASML(ASML)의 최첨단 장비와 비교하면 웨이퍼 처리량과 정밀도, 장기 신뢰성 측면에서 기술 격차가 존재하며 라인 실장 및 양산 검증에 수개월 이상 소요될 전망이다.</p> <p contents-hash="09882e441c89a4021bf3121445ecc3e48b3e695649e3b4b15411738fcc4009e5" dmcf-pid="YXCSAShDWQ" dmcf-ptype="general">이번 국산 장비 배치는 미국 의회가 추진 중인 대중국 반도체 통제 법안인 매치법과 직접적으로 맞물려 있다. 하원 안건 제8170호 및 상원 안건 제4281호로 발의된 해당 법안은 SMIC, 화홍반도체, CXMT, 화웨이, YMTC 등 5개사를 제재 대상 기업으로 명시하고 신규 수출은 물론 기존 설치된 ASML 장비의 유지보수 및 기술 지원까지 법적으로 완전 차단하는 내용을 골자로 한다. 미국 정부의 정밀 봉쇄망이 좁혀오는 상황에서 중국 정부는 국산 노광 인프라를 전면에 내세워 장비 차단 리스크를 정면 돌파하겠다는 전략이다.</p> <p contents-hash="d492f437f9f318fb44036eea1c7d6af86f63f95c5c689a78b7575f76dfb3fe28" dmcf-pid="GZhvcvlwhP" dmcf-ptype="general">로저 다센(Roger Dassen) ASML 최고재무책임자(CFO)는 실적 세션에서 "올해 전체 매출 중 중국 비중이 20% 수준으로 하락했다"라며 "액침 장비 생산 능력을 향후 확대해 나갈 것"이라고 말했다.</p> <p contents-hash="41c00c67c429e3d08978c846768a292dd143f68434706b920129b1f4ed685526" dmcf-pid="H5lTkTSrl6" dmcf-ptype="general">반도체 장비 시장이 첨단 미세 공정 패권과 국가 안보 통제로 재편되는 성숙기 국면에서 중국이 감행한 DUV 노광장비의 초기 양산은 서방 공급망 봉쇄를 돌파하기 위한 생존 전략이다. 20여 년간 축적된 ASML의 독점적 광학 아키텍처 기술력과 정밀 제어 노하우를 단기 내 추월하기는 어렵지만, 자국 파운드리 생산 라인에 국산 장비를 직접 이식해 수율 데이터를 축적함으로써 장비 자립화의 교두보를 마련하겠다는 게 업계의 분석이다.</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 디지털데일리. All rights reserved. 무단 전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 "K-콘텐츠 인도 향한다"…CJ ENM, 아마존 프라임 인도와 맞손 07-28 다음 경정 모터, ‘6·48·8번’을 주목하라 07-28 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
