PSK, 램리서치 베벨에처 특허 1건 무효화...램리서치, 또다른 특허 정정 실패 작성일 08-05 51 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">PSK, 특허무효분쟁서 우위...'램리서치 독점사용' 특허 1건 살아남아</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="P8PWGF3Gg5"> <p contents-hash="023376d045f20e710369a21b3d25b12991d68d5ac846d2f9664074087f1e9d32" dmcf-pid="Q6QYH30HaZ" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)피에스케이(PSK)가 램리서치의 특허 <span>'갭이 제어되는 베벨 에처' 특허(등록번호 1433411, 아래 '411 특허) 무효화에 성공한 것으로 5일 파악됐</span><span>다. </span><span>지난 6월 </span><span>특허법원이 '411 특허가 무효라고 판결한 뒤 램리서치가 대법원에 상고하지 않으면서 특허법원 판결이 지난 7월 하순 확정됐다. </span></p> <p contents-hash="628e7bbf8d1ccea9c2a6c0b5021875d410e909d0159f1a34e3c24d8600d24736" dmcf-pid="xPxGX0pXaX" dmcf-ptype="general">램리서치는 앞서 특허심판원에 <span>'411 특허 정정심판도 청구했지만 특허심판원에 이어 </span><span>특허법원, 대법원 모두 램리서치 주장을 받아들이지 않았다. 일반적으로 </span>정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 특허권자가 청구하는 절차다.</p> <p contents-hash="f07afe4ea45689c031080156071c2f383a46dfa48315592f11efa74bb124ebd0" dmcf-pid="yvyeJNjJcH" dmcf-ptype="general">램리서치는 <span>또 다른 자사 특허 '프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치'(등록번호 1468221, 아래 '221 특허)에 대해 특허심판원에 접수한 정정심판 청구도 지난 3일 기각됐다. </span><span>램리서치가 특허심판원 판단(심결)에 불복할 경우 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있다.</span></p> <p contents-hash="358b99c79edc48bec9d1b5bc1c11251e0dd29992486a34c8fc4a897d63ab5478" dmcf-pid="WTWdijAigG" dmcf-ptype="general">하지만 <span>램리서치의 '221 특허 무효분쟁에서도 PSK가 우위를 점하고 있다. </span><span>지난 2023년 2월 특허심판원은 </span><span>'221 특허가 유효라고 판단했지만, </span><span>2024년 8월 특허법원이 이를 뒤집고 무효라고 판단하고</span><span> 사건을 </span><span>2024년 10월 특허심판원으로 환송했다. </span></p> <p contents-hash="666c858e186f8807656f719b65caf4a726df64e3c966166f22aeb4609340b086" dmcf-pid="YyYJnAcnoY" dmcf-ptype="general"><span>특허법원이 2024년 8월 </span><span>'221 특허가 무효라고 판단하자, </span><span>램리서치가 다음달인 2024년 9월 특허심판원에 정정심판을 청구했던 것인데 일단 무위로 돌아갔다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="a158607e3ea0b17f4b2de95152decf74e238f001645309c8dc39503272801a3a" dmcf-pid="GHZoaDwakW" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="베벨에처 (자료=PSK)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/05/ZDNetKorea/20260805015953402zmhx.png" data-org-width="640" dmcf-mid="6YXLgEDgc1" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/05/ZDNetKorea/20260805015953402zmhx.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 베벨에처 (자료=PSK) </figcaption> </figure> <p contents-hash="7ff2663065f4f047901e1869cecd33e68bbb98d54c24f02e580d645127e09683" dmcf-pid="HX5gNwrNoy" dmcf-ptype="general"><span>이로써 </span><span>PSK가 램리서치를 상대로 제기한 특허 무효분쟁에선 PSK가 우위를 </span><span>이어갔다. </span><span>PSK는 지난 2021~2022년 램리서치 특허 4건, 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 무효분쟁을 시작했다. 램리서치는 참엔지니어링 특허 2건 전용실시권자(독점 사용자)다. </span></p> <p contents-hash="f7ee4c23073247d05ccbfee2a444b0af562207c7663a59bfbf3a358ba7ce5298" dmcf-pid="XZ1ajrmjAT" dmcf-ptype="general"><span>PSK가 램리서치 특허 4건을 상대로 제기한 무효분쟁 중 2건(등록번호 1441720·1265827)에선</span><span> PSK가 이겼다. PSK가 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 시작한 무효분쟁에선 PSK가 1건(</span>등록번호 1433769), 참엔지니어링이 1건<span>(등록번호 1249247) 승리를 나눠가졌다. </span></p> <p contents-hash="c756604faec8f9581548838c8fcc729e25f99f9b88d7e36f0486b9b41b6bcdf8" dmcf-pid="Z5tNAmsANv" dmcf-ptype="general"><span>특허무효분쟁에서 </span><span>참엔지니어링이 </span><span>PSK를 </span><span>상대로 </span><span>승리한 </span>'플라즈마 에칭 챔버' 특허(등록번호 1249247, 아래 '247 특허)가 지금껏 살아남은 특허 1건이다. 특허침해소송에선 1건만 침해가 입증돼도 특허권자가 승소할 수 있다. '247 특허를 놓고 양측은 첨예하게 대립하고 있다. </p> <p contents-hash="cc0c3ace42b6f25b54d6caad5fdcfa69ff7734bff6ad436a0ca3b488168e9056" dmcf-pid="51FjcsOcoS" dmcf-ptype="general"><span>베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발하자 램리서치는 </span><span>PSK를 </span><span>상대로 </span><span>특허침해소송을 제기</span><span>했다. PSK는 대응 차원에서 특허무효분쟁을 시작했다. </span></p> <p contents-hash="7018e4202eaaec952a229c16fe0e1b59ec85368e4985d3a2997eea73b7b14c2b" dmcf-pid="1t3AkOIkgl" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 김재원 의원 "유소년 예산은 부족하다더니"... 캉쿤 출장·비즈니스석 논란, K리그 대표 9명 경찰 고발 08-05 다음 정종진·임채빈에게 도전장…돌풍 예고한 차세대 경륜 에이스 08-05 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
