국산 반도체 가스, 성능 '공인 성적표' 생겼다 작성일 08-06 33 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">표준연, 반도체 공정용 고순도 가스 15종 품질평가 체계 구축<br>공급업체 자체 성적서 의존 탈피…국산화·공급망 다변화 지원</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="2x9TT6PKjm"> <p contents-hash="bcef6973c807da2bd0703f877b9d0e765fec923b17997fe784e2a5b9bde17cd9" dmcf-pid="VXlddYGhar" dmcf-ptype="general">반도체 공정에 쓰이는 국산 고순도 가스의 품질을 국내에서 객관적으로 검증할 수 있는 기반이 마련됐다. 그동안 공급업체가 발급한 자체 성적서에 의존하던 방식에서 벗어나 공인된 시험 결과로 품질을 확인할 수 있게 되면서 반도체 소재 국산화와 공급망 다변화에도 속도가 붙을 것으로 기대된다.</p> <div contents-hash="dfbb4ca2119bd89aa7bbe14f94b8bcb325d2fc588eb6b497b87486967abe5b20" dmcf-pid="fZSJJGHlaw" dmcf-ptype="general"> <p>한국표준과학연구원(KRISS)은 반도체 공정용 고순도 가스 15종의 순도 분석기술과 시험절차를 확립하고, 측정 정확성을 검증하는 인증표준물질 6종을 개발했다고 6일 밝혔다.</p> </div> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="8d75cabebb3851af7f34ab5307c2147b00091bc57b926a7851d611fcab4b73a9" dmcf-pid="45viiHXSAD" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="연구진이 반도체 가스소재 순도분석실에서 불화수소 분석 시스템의 운전 상태를 실시간으로 모니터링하고 있다. KRISS 제공" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/06/akn/20260806094057978xkyv.jpg" data-org-width="745" dmcf-mid="9tyLLZ5Tks" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/06/akn/20260806094057978xkyv.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 연구진이 반도체 가스소재 순도분석실에서 불화수소 분석 시스템의 운전 상태를 실시간으로 모니터링하고 있다. KRISS 제공 </figcaption> </figure> <p contents-hash="8e00a403d20885559b70b5f568fe3fcb0a6eeeaf1fa7f3c24358afc8ef14e5b4" dmcf-pid="81TnnXZvoE" dmcf-ptype="general">반도체 제조에는 식각과 세정, 증착 등 수백 단계의 공정이 필요하며, 여기에 사용되는 가스에 극미량의 불순물이 포함돼도 수개월 뒤 수율 저하나 제품 불량으로 이어질 수 있다. 이 때문에 새로운 가스를 공정에 적용하려면 장기간의 검증이 필요해 공급업체를 쉽게 바꾸기 어려웠다.</p> <p contents-hash="2973e02904834ffbb6d76c44089eb41314f89c1b2ce983b782f68026587c43ab" dmcf-pid="6tyLLZ5TNk" dmcf-ptype="general">특히 2019년 일본의 수출규제 이후 반도체 소재 국산화와 공급망 다변화가 추진됐지만, 국산 제품의 품질을 객관적으로 입증할 공신력 있는 시험 체계는 부족했다.</p> <p contents-hash="5447076dfd96beca231df0a43981556f9f99358cb7af70228db70bfb312fbcc4" dmcf-pid="PFWoo51yac" dmcf-ptype="general"><strong><strong><strong>6N급 초고순도 가스도 정밀 분석</strong></strong></strong></p> <p contents-hash="a109ce755ae80f64422470fd6841ea08e431fda3cbc9607e9d3536da63702d78" dmcf-pid="Q3Ygg1tWgA" dmcf-ptype="general">KRISS는 2020년 불화수소 품질평가 서비스를 시작한 이후 식각·세정·증착 공정에 사용되는 고순도 가스 15종으로 분석 대상을 확대했다. 가스별 표준 시험절차를 마련하고, 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종도 개발해 분석 결과의 신뢰성을 높였다.</p> <p contents-hash="15587591fed89359775617b6b2f47a3bad1c2888a2c2d07e2450adc5eb1cfeee" dmcf-pid="x0GaatFYkj" dmcf-ptype="general">반도체용 가스는 순도 99.9999%(6N급)에 이르는 초고순도 제품이 대부분이다. 나머지 0.0001%에 포함된 수분과 산소, 탄화수소, 금속 성분 등 극미량 불순물을 정확히 분석해야 하는 만큼 세계 최고 수준의 정밀 측정 기술이 요구된다.</p> <p contents-hash="964cd59c0a66310565b9db5770397095d461499a1cd31057ca359d440df217d8" dmcf-pid="yNe33ogRkN" dmcf-ptype="general">이를 위해 KRISS는 독성·부식성·폭발성 가스를 안전하게 취급할 특수 시험시설과 금속성 불순물 분석을 위한 전용 클린룸을 구축했다.</p> <p contents-hash="da2ea1339d2e2daa39f005a58930ac40914ffe1b08223f4dd149222ad38e32c7" dmcf-pid="Wjd00gaega" dmcf-ptype="general">KRISS는 현재까지 34건의 시험 서비스를 제공했으며, 국산화가 활발한 불화수소를 중심으로 시험 수요가 이어지고 있다고 설명했다. 시험 결과는 제조기업의 품질 개선과 자체 분석법 검증, 수입 제품과 국산 제품의 성능 비교 등에 활용되고 있으며, 반도체 기업이 신규 공정용 가스를 도입할 때 객관적인 검증 자료로도 쓰이고 있다.</p> <p contents-hash="a772284788ec5f35959145f9d23bfc417cfa00ed49208f07f6c9fba59d0111ea" dmcf-pid="YAJppaNdcg" dmcf-ptype="general">KRISS는 민간 시험기관인 FITI시험연구원과 협력해 오는 2030년 구축 예정인 '반도체 가스 품질·안전 평가지원센터'의 시험 인프라 구축도 지원할 계획이다.</p> <p contents-hash="5e2b917f8dda5951c65f190baa953b43fdf44b9f44c4079d311ba88ab6b99b2e" dmcf-pid="GciUUNjJoo" dmcf-ptype="general">오상협 KRISS 가스측정그룹 책임연구원은 "반도체 소재 국산화가 산업 현장으로 이어지려면 제품 품질을 객관적인 데이터로 입증하는 과정이 필수적"이라며 "세계 최고 수준의 가스 측정표준과 분석 역량을 바탕으로 국내 기업의 품질관리와 공급망 대응을 적극 지원하겠다"고 말했다.</p> <p contents-hash="eb099b12c40cf011a7ab6a9bbdefcc30d9d0437066c9a4487ed5fe16bfe87ec3" dmcf-pid="HknuujAijL" dmcf-ptype="general">김종화 기자 justin@asiae.co.kr</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 아시아경제. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 경북, 영천 경마공원 중심 말산업 키운다…한국마사회 유치 추진 08-06 다음 AI에 밀려나는 네이버 블로거들..."수익 40% 줄었다" 08-06 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
