삼성전자, 반도체 협력사에 “AI로 장비 고장·오류 사전 대응” 주문...장비업계 기술 전략 바뀌나 작성일 10-14 57 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="6QCGk8SrON"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="e3a2e988241af17cfd66a5d20d33874afa0c1d150331b06e3310cc5c28fc0ab9" dmcf-pid="PxhHE6vmwa" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="삼성전자 화성캠퍼스(사진=삼성전자)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/14/etimesi/20261014163213484uwef.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="8KkCnqwaOj" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/14/etimesi/20261014163213484uwef.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 삼성전자 화성캠퍼스(사진=삼성전자) </figcaption> </figure> <p contents-hash="e7b8a3fb98de27d425301f30aa10beaca32ea77d67780156da2d333b2507b81e" dmcf-pid="QMlXDPTsrg" dmcf-ptype="general">삼성전자가 국내외 주요 반도체 장비 협력사에 제조 공정 내 인공지능(AI) 적용을 주문했다. 반도체 장비 오류·결함을 사전에 파악, 인적 개입을 최소화하고 생산성을 대폭 끌어올리려는 시도다.</p> <p contents-hash="83c4fcbb9ec2e6483f03b29b44651a26ef02189369acd78a589b9f2a32d44751" dmcf-pid="xRSZwQyODo" dmcf-ptype="general">14일 업계에 따르면 삼성전자 DS부문은 주요 반도체 장비 협력사와 AI 기능 강화를 위한 협의에 착수했다. 어플라이드 머티어리얼즈·ASML·램리서치·도쿄일렉트론(TEL)·KLA 등 세계 상위 5대 장비사와 국내 핵심 협력사가 협의 대상에 포함된 것으로 알려졌다.</p> <p contents-hash="863f12d7b9a45c1d546b12e6b56f853ac74fae3d79765c34ba80700c6599c7c4" dmcf-pid="yY6iBTx2mL" dmcf-ptype="general">사안에 밝은 업계 관계자는 “삼성전자가 장비 협력사에 장비 고장과 오류를 사전에 파악하고 사람이 직접 수리·보정하는 과정을 줄이기 위해 AI를 공정 장비에 탑재하길 요청했다”며 “장비사는 이 같은 주문에 맞춰 삼성전자 반도체 생산 라인에 최적화하는 작업을 준비 중”이라고 전했다.</p> <p contents-hash="20d3d773d9e1873af2a6ec6b4bd0bdcd931678c2ea4500a20db2f8173144c04e" dmcf-pid="WGPnbyMVwn" dmcf-ptype="general">삼성전자가 요구하는 대표 기능은 예지보전이다. 장비에 탑재된 센서로 각종 진동·온도·전류 상태 데이터를 지속 수집하고 분석해 정비하는 방식이다. 오류·고장 징후를 미리 파악할 수 있어 사후 보전 대비 인력 투입과 비용 소모를 줄일 수 있다.</p> <p contents-hash="cc71fd990cf4a6df33df61f2d7688113364eda3a5ea2c97f19670e01f31b09ae" dmcf-pid="YHQLKWRfri" dmcf-ptype="general">최근에는 AI 기술로 예지보전 성능을 대폭 강화하는 추세다. 사물인터넷(IoT) 센서와 AI 분석으로 고장뿐만 아니라 잔존 수명 예측, 문제 해결 방안까지 도출하는 수준까지 왔다.</p> <p contents-hash="107c682a551da8b43828fe39357968529b522c02fb39ef32ef6aa4d9b7f0b2a0" dmcf-pid="GXxo9Ye4EJ" dmcf-ptype="general">삼성전자는 AI를 활용해 장비 성능 고도화를 추진하려는 것으로 풀이된다. 궁극적으로 반도체 제조 공정 품질과 생산성을 동시에 높이는 게 목표다. 특히 사람이 직접 장비를 고치는 사후서비스(AS)를 최소화할 수 있는 '무인화' 역량을 최우선 확보하려는 것으로 관측된다.</p> <p contents-hash="30b4f82fe879dab60e1a963d86d94d52039bfbc6c1634010ae32964183861397" dmcf-pid="HZMg2Gd8Ed" dmcf-ptype="general">현재는 반도체 장비에 문제가 발생할 경우 상시 대기하는 기술 지원 인력을 투입해야 한다. AI를 통해 이를 최소화하고 반도체 전체 공정의 생산성을 강화하려는 것이다.</p> <p contents-hash="9ef96a47a19db9f270998dbecb58228a266ef47c6cf8db7b727113787ae195ec" dmcf-pid="XvVRuh8Bse" dmcf-ptype="general">반도체 장비 업계 관계자는 “불량 발생을 AI로 사전 예측하고 자체적으로 대응할 수 있는 인프라를 구축하려는 시도”라며 “단순히 부품이나 웨이퍼를 자동으로 이동시키는 수준을 넘어 AI 기반 스마트 팩토리를 구현하려는 것”이라고 말했다.</p> <p contents-hash="9721beac0539bb935bb9a51ddb52816887e17fb4a49c31245fd8135a4e877861" dmcf-pid="ZTfe7l6bIR" dmcf-ptype="general">삼성전자가 공정 내 AI 기능 고도화에 나선 만큼, 반도체 장비 업계에 미칠 파급력도 만만치 않을 전망이다. 다양한 공정 불량 데이터를 학습하고 이를 통해 예지보전 가능한 모델을 구축하는 등 장비 업그레이드가 필수여서다. 삼성전자가 AI 예지보전 등 강화된 기능을 장비 납품 기본 요건으로 요구할 가능성도 제기된다.</p> <p contents-hash="443030f2c84f0e01f7cc8b65508377c5ee62d589abb4a281c89c3090228f45a7" dmcf-pid="5y4dzSPKOM" dmcf-ptype="general">앞서 삼성전자는 장비 가동 시 사람이 직접 조작하는 것을 최소화할 자동화 기능을 반도체 장비 납품 기본 요건으로 내걸기도 했다.</p> <p contents-hash="538491f4864b12528f705936493e77a45c0dbf63e499a0ad3c8f921155147bff" dmcf-pid="1W8JqvQ9wx" dmcf-ptype="general">업계 관계자는 “장비 협력사 입장에서는 기술 지원 인력 운용 등 사업 전략에도 변화가 요구된다”며 “삼성전자 장비 공급망에 미치는 여파가 클 것”이라고 말했다.</p> <p contents-hash="b2a03614e8bd580f282c6331e00d1e28526930d361f2c3054d163342605008cd" dmcf-pid="tY6iBTx2EQ" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 인텔 "韓 기업과 피지컬 AI 긴밀히 협력 중" 10-14 다음 [단독]마스턴투자운용·디지털엣지, 1조원대 '파주 데이터센터' 짓는다 10-14 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
