'반도체 ALD 특허분쟁' 코쿠사이·유진테크, 특허 2건 판단 확정 작성일 10-14 74 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">대법, 8일 '1건 청구항 대부분 무효' 판단 확정...'권리범위 축소' 1건도 판단 확정</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="Yma2Tm9UcD"> <p contents-hash="5af35a182902c65dfe28caa1713661781c9071a006635edd763a0be59d736b69" dmcf-pid="GsNVys2uoE" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>유진테크와 반도체 공정 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이의 특허 2건에 대한 판단이 확정됐다. 두 업체가 다투고 있는 코쿠사이 특허는 4건이다.</span></p> <p contents-hash="dc8129c57bdab1c473f4db700369a659c11efba6c259f433de73269c50d244d7" dmcf-pid="Hq1r8qwaNk" dmcf-ptype="general">14일 업계에 따르면 대법원은 지난 8일 코쿠사이의 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, 아래 '961 특허) 관련 상고심 3건에서 모두 기각 판결했다. 대법원의 기각 판결로 '961 특허의 청구항(권리범위) 중 대부분 무효(일부 유효)라는 특허법원 판단이 확정됐다.</p> <p contents-hash="2c1cfc82d2448a59c89a13c0f87a834794f765cfc6fcff39dcd710614f83b1f4" dmcf-pid="XBtm6BrNjc" dmcf-ptype="general">앞서 지난 2024년 12월 특허심판원은 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 쟁점 청구항 중 7항만 유효로 판단됐다. 이후 양측이 특허법원과 대법원에 차례로 각각 상소했지만 기각됐다. </p> <p contents-hash="9b13a45cbbe3a62c137ee33a8db44b020b622ed401659460ea0c102dde02244a" dmcf-pid="ZbFsPbmjoA" dmcf-ptype="general">코쿠사이는 '961 특허 청구항이 무더기로 무효가 되자 정정을 노렸지만 특허심판원, 특허법원에 이어 대법원에서도 기각됐다. 일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 청구한다. </p> <p contents-hash="c54c21271b3e1338927eb4fa04fccfc28870e751a36ee7ad01d1722b35f81a8a" dmcf-pid="5K3OQKsAcj" dmcf-ptype="general">대법원이 기각한 '961 특허 상고심 3건 중 2건이 <span>무효심판 상고심이었고, 1건이 </span><span>정정심판 </span><span>상고심이</span><span>었다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="56880dae62cc26c0f4978d668dc93bb8a6801a5f97505e89c53c77098996c88b" dmcf-pid="190Ix9OcNN" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="유진테크 해리어 (사진=유진테크)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/14/ZDNetKorea/20261014225005631rzcy.png" data-org-width="639" dmcf-mid="yFq4YIfzar" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/14/ZDNetKorea/20261014225005631rzcy.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 유진테크 해리어 (사진=유진테크) </figcaption> </figure> <p contents-hash="6bb964f551abbc63c8dc569f57b1951ef7e0c023b244f237334489c68aa0d0c0" dmcf-pid="t2pCM2Ikaa" dmcf-ptype="general"><span>코쿠사이의 또 다른 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허)는 권리범위가 좁혀진 상태에서 유효</span><span> 판단이 확정됐다. </span></p> <p contents-hash="2a98b4e9f186e14628f2a869ffeec49edffc4094ee2725696199e09acfdc73fa" dmcf-pid="FVUhRVCEAg" dmcf-ptype="general"><span>지난 7월 특허심판원에서 '644 특허는 유효라고 판단한 뒤 양측이 항소하지 않았고, 지난 9월 심결이 확정됐다. 하지만 </span><span>코쿠사이가 '644 특허를 4차례 정정했기 때문에 권리범위가 좁혀졌다. 권리범위가 좁으면 특허권자 입장에서 상대의 특허 침해를 입증하기 쉽지 않다. </span></p> <p contents-hash="0bc584ce1471534c49557fff4939cc40b3a50e577bafe96833ad9a67d0c396f1" dmcf-pid="3fulefhDNo" dmcf-ptype="general">이로써 코쿠사이의 '961 특허는 청구항 대부분이 무효라는 판단, '644 특허는 권리범위가 크게 좁혀진 상태로 유효라는 판단이 확정됐다. 이들 코쿠사이 특허 2건에 대해선 유진테크가 유리한 입지를 확보한 것으로 보인다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="25d2476313c81765513044d59ad8411232ea4ded631210a7a8e0cb31f80188ab" dmcf-pid="047Sd4lwgL" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="(자료: 키프리스·특허법원 / 정리: 지디넷코리아)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/14/ZDNetKorea/20261014225006886hjhk.png" data-org-width="640" dmcf-mid="WM81ci5Tow" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/14/ZDNetKorea/20261014225006886hjhk.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> (자료: 키프리스·특허법원 / 정리: 지디넷코리아) </figcaption> </figure> <p contents-hash="bd632a260e186a512f620263c3ee2a67b5c8f925859ff5adbe9219f39536fdff" dmcf-pid="p8zvJ8Srkn" dmcf-ptype="general">아직 양측이 법정에서 다투고 있는 코쿠사이 특허는 2건이다. </p> <p contents-hash="d0b25a6ff0408af556d2d2915a9364bcb850b9ca08c4e88a9837d1b8e96bab8a" dmcf-pid="U6qTi6vmji" dmcf-ptype="general"><span>코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)은 지난 7월 특허법원에서 무효 판결이 나왔다. 앞서 특허심판원이 2024년 12월 유효라고 판단했지만 특허법원에서 뒤집혔다. </span><span>코쿠사이는 이에 불복하고 지난 8월 대법원에 상고했다. </span></p> <p contents-hash="b02ba21ad0610cc055663d8afbd218a57c4b2dac692cb7a24436b92545290fba" dmcf-pid="uPBynPTsAJ" dmcf-ptype="general"><span>코쿠사이는 '052 특허도 정정을 시도했지만 </span><span>특허심판원, 특허법원에서 거푸 기각됐다. 이에 불복하고 대법원에 상고했다. </span></p> <p contents-hash="b3b236156b4f1d8d75dcc43ebac3064bf0f2939a1b89c7c37aa9c9d755770398" dmcf-pid="7Btm6BrNgd" dmcf-ptype="general">코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법 및 기록매체'(등록번호 1969277)에 대해 특허심판원은 2025년 12월 일부 유효, 일부 무효라고 심결했다. 쌍방이 특허법원에 항소했다. </p> <p contents-hash="1f2e4bd8f939708b7cb1ca4eff8a5242d689933c848dec8a7409bb38d85232be" dmcf-pid="zbFsPbmjje" dmcf-ptype="general">코쿠사이가 지난 2024년 특허 4건을 사용해 유진테크를 상대로 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기하자, 유진테크는 특허심판원 무효심판 청구로 대응했다. 코쿠사이는 과거 삼성전자의 특정 공정용 ALD 장비를 독점 공급해왔는데, 유진테크가 이 시장에 진입하면서 특허분쟁이 시작됐다. </p> <p contents-hash="824d92e4e81c80c5b1265b482875a1e2188c401a0b2ad74edde5812c2946e184" dmcf-pid="qK3OQKsAkR" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 넷플릭스, 직원 1000명 감원… 성장 정체에 2022년 이후 최대 구조조정 10-14 다음 존 힐리 인텔 부사장 “CPU·GPU·NPU가 맞물린 이기종 컴퓨팅이 피지컬 AI 가속의 열쇠” 10-14 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
