자이스, '유리기판 전용' 광학 검사 솔루션 개발 추진 작성일 10-20 47 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="UmmBs4lwO4"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="f9114b62f1d50b63ad46d488569eaf0d797444347ceecb1f7f738443c476d3ec" dmcf-pid="ussbO8SrEf" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="자이스 세미컨덕터 매니팩처링 옵틱스. 사진=자이스 홈페이지" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/20/etimesi/20261020070641510gnqk.png" data-org-width="700" dmcf-mid="0m6hPYe4w6" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/20/etimesi/20261020070641510gnqk.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 자이스 세미컨덕터 매니팩처링 옵틱스. 사진=자이스 홈페이지 </figcaption> </figure> <p contents-hash="f5d384e56d1aca01e4be2f9324eec0b1c18ef4b3a212c61e8c2b5fc2a575e341" dmcf-pid="7OOKI6vmwV" dmcf-ptype="general">독일 광학기업 자이스(ZEISS)가 반도체 유리기판 전용 광학 검사 솔루션을 개발 중인 것으로 확인됐다. 차세대 패키징 기판으로 주목받는 유리기판 시장을 선점하려는 행보로 풀이된다.</p> <p contents-hash="3892c8e20c733a64a6ad5a76447d7bcb30f1a7fd66429d74b3c585be4ea54eb1" dmcf-pid="zII9CPTsm2" dmcf-ptype="general">크리스토프 헨셰 자이스 세미컨덕터 매니팩처링 옵틱스(ZEISS SMO) 사장은 최근 전자신문과 만나 “유리기판용 광학 검사 솔루션을 개발 중”이라며 “아직 현재 특정 제품 출시를 발표하는 단계는 아니지만, 자사 역량 안에서 충분히 훌륭한 솔루션을 도출할 수 있을 것”이라고 말했다.</p> <p contents-hash="7796bcaea62ed5ae7b2ff733af1be4e662f8b3e9d0da74067e62e334687297cd" dmcf-pid="qCC2hQyOs9" dmcf-ptype="general">유리기판은 AI 반도체 첨단 패키징에서 유기 기판의 한계를 보완할 대안으로 주목받는다. 기존 유기 기판보다 표면이 평탄하고 열에 따른 변형이 적어 대면적 패키징에 유리하다.</p> <p contents-hash="9d0066a335725147782b239851ba13c1c1be7e86b999e39da84ad22e6add2a8d" dmcf-pid="BhhVlxWIwK" dmcf-ptype="general">유리 소재 특성상 결함 검사가 까다로워, 검사·계측 기술의 성숙도가 양산 시점을 좌우하는 핵심 요소로 꼽힌다. 유리는 가시광에 대한 투과율이 높고 표면 반사가 낮기 때문이다. 일반적인 반사광 기반 자동광학검사(AOI)로는 표면 결함과 내부 결함을 구분하기 어렵다. 투과광과 산란광을 동시 활용하거나, 다초점 및 가변초점 광학계 기술이 필요하다.</p> <p contents-hash="0a39d7acc1fdb87a0097acfd49ab5ac16a12e2c6df1aec864228f9d5aef5fa4e" dmcf-pid="bllfSMYCIb" dmcf-ptype="general">자이스와 같은 광학·검사 전문 기업의 전용 솔루션 개발 추진은 유리기판 생태계가 장비·검사 인프라 측면에서도 구체화되고 있음을 보여주는 움직임이다. 다만 현재는 개발 추진 단계에 머물고 있으며, 구체적 출시 일정이나 성능 사양은 공개되지 않았다.</p> <p contents-hash="78f31f6e2bc364f569ec049d1008f53c1c368f81f791de0ac82da2ac3b93333a" dmcf-pid="K00gpEqFsB" dmcf-ptype="general">자이스는 반도체 생태계에서 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비 광학계를 단독 공급하는 기업으로 잘 알려져 있지만, 검사·계측 장비 분야에서도 광학 핵심 부품을 공급하며 기술을 오랫동안 축적해 왔다. 이번 유리기판 전용 광학 검사 솔루션 개발도 이러한 검사 광학 역량의 연장선으로 이해된다.</p> <p contents-hash="43ecc5c22005d15895e96d5beedf21c3d568e4b2ef5aa48a415cf1299f904e1d" dmcf-pid="9ppaUDB3Oq" dmcf-ptype="general">자이스는 현재 패키징 검사·교정 솔루션도 다량 보유하고 있다. 엑스레이 시스템 'NLX'와, 웨이퍼 보우(Bow)·워프(Warp)를 측정·교정해 평탄도를 확보하고 본딩 성공률을 높이는 장비 'DUNE'이 대표적이다.</p> <p contents-hash="24f0d80022a79fc95627e4d4521f8a9efc570e25fc6a957e843b64ab51a58002" dmcf-pid="2UUNuwb0sz" dmcf-ptype="general">자이스는 한국을 반도체·첨단 제조 분야에서 전략적으로 중요한 시장으로 보고, 현지 고객·파트너와의 협력을 지속 강화해 나갈 방침이다. 올해 350제곱미터 규모로 개소한 자이스의 '글로벌 반도체 이노베이션 센터'는 자이스 반도체 부문의 첫 글로벌 거점이다. 삼성전자나 SK하이닉스 등 고객사와 공동으로 장비를 평가하고 공정을 최적화하는 역할을 수행한다.</p> <p contents-hash="2668438483f4e52ce9704d757699249edd87bda0a9c6ecb7ed9aa64f5893ec77" dmcf-pid="Vuuj7rKpw7" dmcf-ptype="general">헨셰 사장은 “자이스는 KLA의 하이엔드 웨이퍼 광학 검사 장비에 들어가는 광학계를 제작하는 등 산업에 깊이 기여하고 있지만, 비교적 이러한 부분들이 덜 알려져 있다”며 “최근 한국 고객들에게서 긍정적인 피드백을 받고 있으며, 고객 요구를 모두 충족하도록 앞으로 함께 보완해 나갈 것”이라고 말했다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="ec8419b1974219e2834b005fb31f815e8e41a7652117ce6e4e69d9774acbddb1" dmcf-pid="f77Azm9UOu" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="크리스토프 헨셰 자이스 세미컨덕터 매니팩처링 옵틱스(ZEISS SMO) 사장" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/20/etimesi/20261020070642763wxta.jpg" data-org-width="375" dmcf-mid="pJNFjzDgs8" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/20/etimesi/20261020070642763wxta.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 크리스토프 헨셰 자이스 세미컨덕터 매니팩처링 옵틱스(ZEISS SMO) 사장 </figcaption> </figure> <p contents-hash="93c88f4fcafc7eae7629574f23a2f95226525933940500d459b74c2ec9008b09" dmcf-pid="4zzcqs2uOU" dmcf-ptype="general">이형두 기자 dudu@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 [스카이랩스 대해부②]'의료기기 성배' 커프리스 혈압계…정확도로 증명했다 10-20 다음 AI 해킹 위협 커졌지만…"기존 보안 무력화할 수준 아냐" 10-20 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
