한국전기연구원, SiC 전력반도체 결함 판별 국제기준 오류 규명 작성일 10-25 58 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">산학연 공동연구…SiC 적층결함 발광파장 424㎚ 아닌 459㎚ 확인</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="Y6jkm6YCXk"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="4a22ee231a19524322bbe796d95904dd48fa6c3b1476c7ab9f412a59a76bb783" dmcf-pid="GPAEsPGh5c" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="'(4,1) 적층 결함'의 파장을 규명한 데이터 [KERI 제공. 재판매 및 DB 금지]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/25/yonhap/20261025120245678slzl.jpg" data-org-width="1200" dmcf-mid="WNSyXNzt1E" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/25/yonhap/20261025120245678slzl.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> '(4,1) 적층 결함'의 파장을 규명한 데이터 [KERI 제공. 재판매 및 DB 금지] </figcaption> </figure> <p contents-hash="a034770ee8d24564b10c16e36a97176bda8400278846de9b5fdf73181123d47d" dmcf-pid="HQcDOQHltA" dmcf-ptype="general">(창원=연합뉴스) 김선경 기자 = 한국전기연구원(KERI)은 국내 연구진이 SiC(탄화규소) 전력반도체의 결함을 판별하는 국제기준의 오류를 밝혀냈다고 25일 밝혔다. </p> <p contents-hash="364f4604f32fb8a76b3dcf70229052b2f250d4cf3b4a22e5dbd99592db06879b" dmcf-pid="XxkwIxXS1j" dmcf-ptype="general">KERI 차세대반도체연구센터 나문경 박사팀은 충남대 홍순구 교수팀, 호리바에스텍코리아, SK실트론 등과 산학연 공동연구를 하고, SiC 전력반도체 내부 결함의 '특성 발광 파장'을 새로 규명했다.</p> <p contents-hash="2fb08dcc8c31d79ed08bc9e1e452be24e675ac407e7d4a017a6191e92ab9f160" dmcf-pid="ZMErCMZvGN" dmcf-ptype="general">SiC 전력반도체는 고온·고압의 가혹한 환경을 견디며 전류 방향과 전력 변환을 제어하는 등 사람 몸으로 치면 근육 같은 역할을 한다.</p> <p contents-hash="b218f02e3e83a0c1f7c2b28b2887b269daecb00451c3d334424512f3d6abd889" dmcf-pid="5RDmhR5T1a" dmcf-ptype="general">특히 전기차, 신재생에너지 설비 등 높은 전압과 열을 버텨야 하는 첨단산업에 널리 쓰인다.</p> <p contents-hash="b46909a9a1b74b9d20160ac578499464365fc2d954e121dd321fa8c64b408c40" dmcf-pid="1ewsle1y1g" dmcf-ptype="general">반도체를 만드는 과정에서 원자들이 겹겹이 쌓이다가 미세하게 어긋나는 이른바 '적층 결함'(Stacking Fault)이 생기면 제 성능을 낼 수 없어 품질관리가 중요하다.</p> <p contents-hash="7348ce1f09e4415799ff0b4a36fc6eb71783dbe04549c04d90be7fde3421179c" dmcf-pid="tdrOSdtWZo" dmcf-ptype="general">산업계에서는 반도체 원판인 웨이퍼를 깨지 않고 불량을 찾아내기 위해 빛을 쏘아 검사하는 '광발광(PL) 검사'를 쓴다. 웨이퍼에 빛을 비춘 뒤 결함에서 방출되는 빛의 파장이 다르다는 점을 활용하는 방식이다.</p> <p contents-hash="76a49c07bba4fe9b8e26aecd7778fee512f61d58d27b7190b59be33a9fcc4499" dmcf-pid="FJmIvJFYZL" dmcf-ptype="general">연구팀이 연구과정에서 상용 웨이퍼 207장에 담긴 10만여개의 결함 데이터를 분석했을 때 특히 '(4,1) 프랭크형 적층 결함'이 상용 웨이퍼에서 중요한 결함군으로 나타났다.</p> <p contents-hash="ba8b2584079bbab89bf7a410ea68ba300a902dc4dcb9edc4fbfb74586fd86150" dmcf-pid="3xkwIxXStn" dmcf-ptype="general">특히 국제전기기술위원회(IEC) 기준에는 이 종류의 적층 결함은 파장이 424㎚(나노미터)인 것으로 반영돼 있는데, 연구팀이 고난도 분석을 수행한 결과 파장이 459㎚인 것을 밝혀냈다.</p> <p contents-hash="bbee354af0e932578d22b4a55924d273a9bdfa1d30bb153436fe928d853dcf4b" dmcf-pid="0MErCMZvGi" dmcf-ptype="general">연구팀은 웨이퍼의 결함 위치를 찾은 뒤 그 위치를 나노(10억분의 1미터) 단위로 정밀하게 잘라내 원자분해능 주사투과전자현미경(HAADF HR-STEM)으로 실제 원자 배열을 직접 확인했다.</p> <p contents-hash="b0b883cc4d34fc18e4d653c9b2f045b83c2be5628d7bd1e037d41ca4f4057c35" dmcf-pid="pRDmhR5T5J" dmcf-ptype="general">이를 위해 머리카락보다 훨씬 얇은 나노 시편 176개를 직접 깎아내 관찰했고, 슈퍼컴퓨터를 활용한 첨단 이론 계산(밀도범함수이론·DFT)까지 더해 교차 검증을 마쳤다.</p> <p contents-hash="4ca04691a26e41d0fd70a9b921d0453a5a6246656a65d42a36f92e035efaf071" dmcf-pid="Uewsle1yXd" dmcf-ptype="general">연구팀은 이처럼 전력반도체의 결함을 판별하는 국제기준의 오류를 밝혀냄으로써 향후 반도체 소재 품질검사 정확도를 향상시킬 수 있을 것으로 기대한다.</p> <p contents-hash="9ba4b861198b772caf0751c7cef062348757db178f48db3db1d150ed1b0ee311" dmcf-pid="udrOSdtWZe" dmcf-ptype="general">이번 연구 결과는 금속·무기재료 분야 국제 학술지인 '악타 머티리얼리아'(Acta Materialia, JCR 상위 5% 이내)에 게재됐다.</p> <p contents-hash="6b470143f37f0f1a0cd6c072c30d24bd871dbbbbef9b220bd7ce69b1346eb190" dmcf-pid="7JmIvJFYXR" dmcf-ptype="general">나문경 박사의 경우 이를 포함한 일련의 연구 공로를 인정받아 일본 분석·계측 전문기업인 호리바(HORIBA)가 주관하는 연구상(Masao Horiba Awards, Honorable Mention) 대상자로도 선정됐다.</p> <p contents-hash="06ad301faa584cfc47b7f16cb8e627378dd65989ef90d3d67661e54bd9796402" dmcf-pid="zisCTi3GtM" dmcf-ptype="general">나 박사는 "결함 판별 기준의 오류를 바로잡았다는 데 의미가 크다"며 "앞으로도 국내 전력반도체 산업의 품질 경쟁력을 높이기 위해 노력하겠다"고 말했다.</p> <p contents-hash="d9f610f5f127fa78ab66344576b3917a27d9d62449fc9a4562dd2c27c04ed2aa" dmcf-pid="qnOhyn0HHx" dmcf-ptype="general">ksk@yna.co.kr</p> <p contents-hash="74d20b6ef364bfa3c0d8537d95e5cf2dc7bc0ae924ac8d96541841605afba691" dmcf-pid="boCSYoUZXP" dmcf-ptype="general">▶제보는 카톡 okjebo</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 연합뉴스. 무단전재 -재배포, AI 학습 및 활용 금지</p> 관련자료 이전 큐니티, 반도체 소재 혁신 위해 '고객 협업' 전략 강화…“韓 반도체 개발 주기 단축” 10-25 다음 [2027 정기 인사] 4대 그룹 “미래 핵심 사업 전략 역량에 방점” 10-25 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
