국내 최초 우주 로봇팔·반도체 핵심 장비…올해의 10대 기계기술 작성일 10-29 44 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="9FSWpFcnMT"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="102cd2c33799446c84985e4035d43c98ef55942f01a877e8d245f4abefe47b51" dmcf-pid="2iV6oi3Giv" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="한국생산기술연구원에서 개발한 우주 로봇팔 'K-ARM'. 한국생산기술연구원 제공" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202610/29/dongascience/20261029143559013hluz.jpg" data-org-width="680" dmcf-mid="KQNkSCQ9Ly" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202610/29/dongascience/20261029143559013hluz.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 한국생산기술연구원에서 개발한 우주 로봇팔 'K-ARM'. 한국생산기술연구원 제공 </figcaption> </figure> <p contents-hash="244f8c82ccf2e385642e8cd600f050800d53fecf53449039d512649568af62fa" dmcf-pid="VnfPgn0HJS" dmcf-ptype="general">인공위성에 탑재돼 우주 잔해물을 포획하는 로봇팔과 반도체 웨이퍼 제작 공정의 핵심 장치 등 올해의 10대 기계기술이 선정됐다. </p> <p contents-hash="5240fa257e237311a269a21a84f97274e0b5b9030a166028fea1a04792853689" dmcf-pid="fL4QaLpXLl" dmcf-ptype="general">한국생산기술연구원(생기원)은 원대희 인간중심로봇연구부문 수석연구원이 이끈 연구팀이 개발한 우주 로봇팔 'K-ARM'과 조한철 극한공정제어그룹 수석연구원이 이끈 연구팀이 개발한 반도체 웨이퍼 연마 공정 핵심 장치가 '올해의 10대 기계기술'에 선정됐다고 29일 밝혔다. </p> <p contents-hash="4ba96d0c6325ddd589833a6c15f2f4471b9a0c8f2432b64b816139a9b2317d6e" dmcf-pid="4o8xNoUZeh" dmcf-ptype="general">올해의 10대 기계기술은 한국기계기술단체총연합회가 지난 1년간 국내에서 개발된 기계 분야 우수 기술과 제품을 선정해 수여하는 상으로 2013년부터 매년 선정한다다. </p> <p contents-hash="8e26506f28db2cbf820ec7800da000f663077164ea3ca2ccdf320d124c2b4361" dmcf-pid="8g6Mjgu5MC" dmcf-ptype="general">K-ARM은 인공위성에 탑재되는 로봇팔로 수명이 다한 위성 등 우주 잔해물을 포획해 안전한 폐기 궤도로 옮길 수 있다. 로봇팔 끝에 연결된 물체를 움켜쥐는 장치인 그리퍼와 다목적 핸드를 임무에 따라 교체하면 고장 위성 수리와 연료 재공급 등 다양한 임무에 활용할 수 있다. 발사할 때는 위성 안에 접힌 채 실리고 궤도에 진입한 뒤 펼쳐져 임무를 수행하는 구조다. </p> <p contents-hash="86b4b9482d483e58ed7ad3293d01bc5911f04d4bd76c0890a5ca68aed41a35d2" dmcf-pid="6aPRAa71MI" dmcf-ptype="general">연구팀은 또 지상에서 미소중력 환경을 모사해 근접 임무 성능을 시험하는 시스템 'K-POS'를 개발해 인공위성 발사 전에 로봇팔의 성능을 검증하는 기반 기술도 확보했다. </p> <p contents-hash="0627f118ed8273d1adf62e426fac826c21365d66e36acec498232615ab28ffa8" dmcf-pid="PNQecNzteO" dmcf-ptype="general">K-ARM은 현재 실제 발사 및 우주 환경을 모사한 진동시험과 열진공시험을 통과한 상태다. 생기원은 국방과학연구소, 한국항공우주연구원과 위성 체계 개발을 위한 기술 협력을 추진하고 있다. </p> <p contents-hash="922254eca4009e520f95345b51dece93b08aea676e9255b50280b493112c6ef0" dmcf-pid="QjxdkjqFds" dmcf-ptype="general">조 수석연구원이 이끈 연구팀은 반도체 웨이퍼 표면을 평평하게 갈아내는 연마 공정의 핵심 장치 두 가지를 개발했다. 웨이퍼는 반도체 집적회로를 만드는 바탕 역할을 하는 얇은 원판 모양의 기판이다. </p> <p contents-hash="0818f8e4df2656bf1c89936c4a4f7b552a08c127cd2189b4b62bf9a17ff70007" dmcf-pid="xAMJEAB3Lm" dmcf-ptype="general">웨이퍼에 집적회로를 쌓아 올리기 전에 표면을 평탄화해 불량 확률을 줄이는 연마를 진행한다. </p> <p contents-hash="f5902f901742aa0f25f4d52f89564e2c5e9a04a2d53385897a1409815b7325a0" dmcf-pid="yUWXzUwaLr" dmcf-ptype="general">연마 공정 중에는 웨이퍼를 패드로 문질러 기계적인 힘으로 웨이퍼 표면을 깎는 과정이 포함된다. </p> <p contents-hash="4257d1432c1733aad13fcf326cb5a1c95a430eb5775f9eb5d896f5d50bf96ffb" dmcf-pid="WuYZqurNRw" dmcf-ptype="general">웨이퍼를 문지르는 패드는 쓸수록 닳아 형상이 변해 반도체 웨이퍼의 품질에 영향을 끼친다. </p> <p contents-hash="0f03f43c4fc0690349e75375fb2bbad56fceda9e184d12ea0ecfb6422cbf6314" dmcf-pid="Y7G5B7mjeD" dmcf-ptype="general">연구팀은 패드 두께를 실시간으로 인식하며 두께 편차를 최소화할 수 있는 장치를 개발했다. 이와 함께 연마를 마친 웨이퍼의 오염물질을 제거하는 세정 장치의 핵심 구조를 새로 설계해 장치의 부피를 70% 이상 줄였다.</p> <p contents-hash="6919f720da8a94e65f4ac8420169dabd668e509cc77f9d04859a7dceae599d2c" dmcf-pid="GZIStZaeiE" dmcf-ptype="general">연마 공정의 핵심 장치 기술은 2025년 국내 장비 기업에 이전된 상태다. 상용화에 성공할 경우 미국과 일본 기업이 세계 시장의 90% 이상을 차지해 온 글로벌 시장을 공략할 수 있을 것으로 전망된다. </p> <p contents-hash="8c098847d60b8ad3bfc050c509be91d4846a83bea6cf6ed018c599d44affb5ea" dmcf-pid="H5CvF5NdLk" dmcf-ptype="general">올해의 10대 기계기술에는 △국방과학연구소(국산 항공엔진 보호막) △한국생산기술연구원(반도체 제조용 세정 장비 국산화) △엔덴틱스(원격 음향 치아 신경치료) △LG전자(무급유 히트펌프 기술) △테솔로(경량 지능형 로봇손 기술) △한국생산기술연구원(우주환경 동작 다관절 로봇팔) △한국기계연구원(농업용 AI) △한국기계연구원(탄소중립 히트펌프) △성균관대(뇌척수액 누출 판별 AI 진단 기술) △한화에어로스페이스(항공기용 가스터빈 엔진 국산화) 등이 포함됐다.</p> <p contents-hash="ed995cff462ac889c1a51b8f1d5a1abf515d2ad2dca26def3cb33a5528fa7b1e" dmcf-pid="X1hT31jJdc" dmcf-ptype="general">손웅희 생기원장은 "이번 10대 기계기술 선정은 생기원이 지향해 온 현장 밀착형 실전 기술의 결실”이라며 “앞으로도 국가 전략산업이 글로벌 공급망 위기에 흔들리지 않도록 초격차 원천기술 확보와 사업화에 집중하겠다”고 말했다.<br> </p> <p contents-hash="3bab85f55387fc333cf3e963d7048f419bea2d8fe4174aa26e22b4321ceebd8b" dmcf-pid="Ztly0tAiiA" dmcf-ptype="general">[김소연 기자 lecia@donga.com]</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 동아사이언스. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 "3초 틀렸을 뿐인데 초음속 주행?"…'시간 공격'에 금융·전력·통신 '도미노 마비' 경고 10-29 다음 암 환자 괴롭히는 식욕부진·근육손실 막는 물질 찾았다 10-29 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
