ASML도 못 푸는 난제, 한국 스타트업이 푼다…극한 공정 버티는 ‘CNT 펠리클’ [AI&칩 워] 작성일 04-06 148 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="7EcT5LYcy5"> <p contents-hash="702e02659ec2c820712bb208143fe1fe0495e5352abefeca82deb6155939fa40" dmcf-pid="zDky1oGkTZ" dmcf-ptype="general"><strong>[AI&칩 워] 7회 CNT 펠리클: 에스앤에스텍·어썸레이</strong></p> <div contents-hash="96d9843752dc444a3c1b5c56d56809db4198d6406d46c4bd0e2ab3591fcb305c" dmcf-pid="qwEWtgHEyX" dmcf-ptype="general"> [AI&칩 워] 인공지능(AI) 반도체 패권을 놓고 빅테크 기업들이 벌이는 ‘칩 워(Chip War)’를 파헤칩니다. 반도체 산업에서 펼쳐지는 뜨거운 소식을 독자분들이 알기 쉽게 분석해 드리는 심층 분석 연재물 입니다. </div> <p contents-hash="6fad9a8749e26f7b259db9d008698ef9d63e7a36c31f84f9125ed4990dd772e8" dmcf-pid="BrDYFaXDvH" dmcf-ptype="general">전 세계 반도체 업계는 nm(나노미터) 전쟁을 벌이고 있습니다.</p> <p contents-hash="df80ce8ee024d4b098eb96a2a5c43a541ff9acd0dcba152ecb4eb8390aa241f0" dmcf-pid="bmwG3NZwSG" dmcf-ptype="general">2nm(나노미터) 이하의 선단 반도체 공정에서는 극단적으로 미세한 회로 패턴이 필요합니다. 이때 사용하는 기술이 바로 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 노광 기술인데요.</p> <p contents-hash="cde19ad9d95d4bb7ddc9e0558b541ede26f1586f1e69e82c70b07a0582a90ea1" dmcf-pid="KhI17E3ITY" dmcf-ptype="general">EUV는 파장이 13.5nm에 불과한 빛을 이용해 반도체 웨이퍼 위에 회로를 새기는 데 필요한 장비입니다. 하지만 이처럼 짧은 파장의 빛은 그만큼 먼지나 오염 입자에도 극도로 민감합니다. 0.1마이크로미터(μm, 100nm) 수준의 입자 하나만 있어도 결함이 발생해, 칩 전체 수율이 떨어질 수 있기 때문입니다.</p> <div contents-hash="921b95bfe07d1d67c3698911009353aff4062cc4e0a1c092dffde162cb68f665" dmcf-pid="9lCtzD0CvW" dmcf-ptype="general"> <div> <strong>노광 장비 입자 유입 원천 차단</strong> </div> </div> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="6bf69cae504e02e81cef82db9e6fee4ce83632243d5cd847d4479ab34dd07c66" dmcf-pid="2ShFqwphvy" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="ASML의 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 장비" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135404274cpob.png" data-org-width="700" dmcf-mid="HqLawbA8Wr" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135404274cpob.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> ASML의 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 장비 </figcaption> </figure> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="c5e363d2d97c5c34c7baa95ff189a67360abd1d541b2d1acd18969c6ee814b61" dmcf-pid="Vvl3BrUlTT" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="ASML의 ‘하이 뉴메리컬애퍼처 극자외선(High-NA EUV)’ 장비" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135407504zgcf.png" data-org-width="700" dmcf-mid="XDTWtgHEvw" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135407504zgcf.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> ASML의 ‘하이 뉴메리컬애퍼처 극자외선(High-NA EUV)’ 장비 </figcaption> </figure> <div contents-hash="72b4fa22e20614830bef4b8ede98dd97ccf237f5abeff5b0f00c869ba767ab5d" dmcf-pid="fTS0bmuSTv" dmcf-ptype="general"> 노광 장비 내부에서 입자 유입을 원천 차단하는 부품이 필요한데, 그것이 바로 ‘펠리클(Pellicle)’입니다. </div> <p contents-hash="b86a59683886e6a5e5704cd8f9219e9a989685b5fe1dd1ca65c98eb34a87cd06" dmcf-pid="4yvpKs7vTS" dmcf-ptype="general">펠리클은 노광 마스크를 보호하는 얇은 막으로 보시면 이해가 쉽습니다. 일반적으로 노광 마스크 위에 얇은 투명막을 씌워 먼지를 차단하고, 마스크 자체에는 입자가 닿지 않도록 합니다.</p> <p contents-hash="7da754cccc3312cca75c30aac7c7cc7267830681861d107febe61ee973cdb81c" dmcf-pid="8WTU9OzTll" dmcf-ptype="general">하지만 문제는 EUV는 기존보다 훨씬 높은 에너지를 가진 빛이라는 점입니다. 종전 불화 아르곤(ArF)공정에서는 무정형 불소 고분자나 실리콘계 고분자로도 펠리클을 만들 수 있었는데요. EUV 광은 그런 일반 소재들을 녹이거나 투과하지 못하거나 변형시켜버립니다. 때문에 EUV용 펠리클은 열에도 강하고, EUV 광을 거의 흡수하지 않으며, 기계적으로도 안정적인 신소재여야 합니다.</p> <p contents-hash="c80eb4ea5d9e3aa6f1b3ba4b2c759251130b50995be7c1d2715b6b3a981535a6" dmcf-pid="6Yyu2IqySh" dmcf-ptype="general">오늘날 ASML과 같은 EUV 업체가 고민에 빠진 이유입니다.</p> <p contents-hash="23dd1d6c04a51d74ae9f8cba2a43e4b66f2e1ca0788dad61b1a9477a5da4d1b0" dmcf-pid="PGW7VCBWTC" dmcf-ptype="general">반도체 생태계는 거대합니다. 여기서 노광 장비만 떼어 놓고 보면 공급망 사슬은 이렇습니다. 파운드리 업체 → EUV 업체 → 펠리클 업체 → 펠리클 멤브레인 기업. 사슬 가운데 하나만 이상해도 첨단 반도체 제조는 불가능에 가깝습니다.</p> <p contents-hash="0570fe006ec7016c399ced3ecba16c4f0794583acd3895f839e480428b45f3f4" dmcf-pid="QHYzfhbYTI" dmcf-ptype="general">특히 오늘날엔 ‘하이 뉴메리컬애퍼처 극자외선(High-NA EUV)’ 장치가 TSMC 삼성전자 인텔에 하나씩 도입되고 있습니다. 2nm 공정 이하에서는 반드시 필요한 장치인데요. 때문에 펠리클 업계에서는 열에도 강하고, EUV 광을 거의 흡수하지 않으며, 기계적으로도 안정적인 소재를 찾아내는데 사활을 걸고 있습니다.</p> <div contents-hash="449663a1bef19993f59a93a3b2fd454118f6dbc6b28d2a821b6d083876b6c95b" dmcf-pid="xXGq4lKGTO" dmcf-ptype="general"> <div> <strong>하이 NA EUV, 2026 본격 가동 예정</strong> </div> </div> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="bf440a78c38bf093db8f621cc7d3fc793d5d74589b54cf3db23dd92e07752cf3" dmcf-pid="yF12xW41vs" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="김세훈 어썸레이 대표가 펠리클 멤브레인을 들고 있다." class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135410582vdpl.jpg" data-org-width="500" dmcf-mid="ZPvsTxCnlD" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135410582vdpl.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 김세훈 어썸레이 대표가 펠리클 멤브레인을 들고 있다. </figcaption> </figure> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="d6c552233d9ff1e222a4bf84f392cbd79fc604a238ec34ea128ad61e4bbd7454" dmcf-pid="W3tVMY8thm" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="CNT 펠리클 멤브레인. 110mm x 144mm급 풀사이즈 성능이 요구된다." class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135413656vizn.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="3acIWRloTj" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135413656vizn.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> CNT 펠리클 멤브레인. 110mm x 144mm급 풀사이즈 성능이 요구된다. </figcaption> </figure> <div contents-hash="58a0f3531cc7d2ab5d2747ec0a944de0f313be45b0affa98b770c183fceba281" dmcf-pid="Y0FfRG6Fyr" dmcf-ptype="general"> 그리고 그 주인공 중 하나가 바로 탄소나노튜브(CNT)입니다. </div> <p contents-hash="c78d9969837c7d3764d01ee32a15ed0b69b33428f47c55a81dceebee80db6e8d" dmcf-pid="Gp34eHP3Sw" dmcf-ptype="general">CNT는 탄소 원자가 육각형 구조로 배열된 튜브 형태의 나노물질인데요. 높은 강도, 낮은 밀도, 탁월한 열 전도율, 높은 투명성을 갖고 있어 EUV 광을 효과적으로 통과시키는 동시에 열과 기계적 스트레스를 버틸 수 있는 이상적인 소재입니다.</p> <p contents-hash="01bf41fcc035d3b2abf9e073073b853c0ec130ee3ac18e287398da9d42e942eb" dmcf-pid="HU08dXQ0WD" dmcf-ptype="general">특히 CNT를 이용한 멤브레인은 하이-NA EUV용 펠리클에 필요한 성능을 충족합니다. CNT 펠리클의 대표 주자는 어디일까요. 바로 어썸레이라는 스타트업입니다. 얼마 전 김세훈 어썸레이 대표를 만나 CNT 펠리클에 대한 신세계를 탐험했습니다. (이하 전문)</p> <p contents-hash="0a231ed14264d3474d75f851fd0ac8802aa6c81abf87cee579b886e2da8d8aac" dmcf-pid="Xup6JZxpvE" dmcf-ptype="general"><strong>― 하이 NA용 펠리클은 어떤 성능을 갖고 있나요.</strong></p> <p contents-hash="7dab69e5a182135814c8d253002009297a63dd9d4115a883ecb584fdf3a7bf93" dmcf-pid="Z7UPi5MUWk" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 지금 하이 NA용 펠리클 가운데 퀄리피케이션을 통과한 제품이 없습니다. 기존 실리콘계 소재는 400℃까지 밖에 못 버티는데, 하이 NA는 최소 800℃ 이상을 요구하고, EUV 투과율도 94% 이상이 필요합니다. 기존 소재는 고출력 장비에서 터져서 쓸 수가 없어요. 저희 CNT 기반 소재는 이런 요구 조건을 충족할 수 있습니다.</p> <p contents-hash="618809fe7decc24906a196e3ed5ac3eca4e693b8c1d7723e14235b4bcdfeff8d" dmcf-pid="5zuQn1Ruyc" dmcf-ptype="general"><strong>― 실제로 삼성이나 TSMC가 ASML의 하이-NA EUV를 도입했나요.</strong></p> <p contents-hash="5826de273155b74fada7475b465fddebb139e2b49b885da1665e56e34f1c4e04" dmcf-pid="1q7xLte7hA" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 네. 인텔이 1호기, TSMC가 2~3호기, 삼성은 4호기로 하이 NA 장비를 ASML에서 도입한 것으로 알려져 있습니다. 지금은 세팅 단계고, 2026년부터 본격적인 라인 투입을 목표로 하고 있습니다. 그때 펠리클이 반드시 필요합니다.</p> <p contents-hash="1a25ac644b6cadadeb050ea63220435aef372a85b1ce30520ae64f813da34552" dmcf-pid="tBzMoFdzWj" dmcf-ptype="general"><strong>― 어썸레이는 어디에 납품을 하는 것일까요</strong></p> <p contents-hash="0b11969ca58af0b097a9a1e24f6817c06123396a553c12be0b1a9bd5957b30db" dmcf-pid="Fvl3BrUlhN" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 저희는 소재만 공급하는 회사입니다. 펠리클을 직접 만드는 건 아니고요. 지금 한국에서 펠리클을 만드는 회사는 에프에스티(FST)와 에스앤에스텍(S&S TECH) 두 군데입니다. 이 두 회사가 펠리클 완제품을 만들어서 삼성전자 같은 칩 메이커에 납품하는 구조입니다. 삼성전자가 두 회사에 하이 NA 펠리클을 개발하라고 미션을 준 상황입니다. 두 회사 모두 CNT 소재를 직접 다뤄본 경험은 없습니다. 그래서 저희 같은 소재 회사가 필요했던 거죠. 어썸레이는 에스앤에스텍과 손잡고 준비 중입니다.</p> <div contents-hash="9c5b934be193cbaf7c36d64d4733bcabbb15563fd97b84fe8bcb22991faf8b20" dmcf-pid="3TS0bmuSTa" dmcf-ptype="general"> <div> <strong>기존 소재 한계…최소 800℃ 버텨야</strong> </div> </div> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="adddc86893157bc4426689fac8b58c2ef38eb28d12646fd2629dc4c5197db3a8" dmcf-pid="0yvpKs7vTg" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="CNT 섬유. 두께별로 다양하다" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135416543ytsz.jpg" data-org-width="500" dmcf-mid="0JQIWRloCN" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135416543ytsz.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> CNT 섬유. 두께별로 다양하다 </figcaption> </figure> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="c3f1bea717360c2d8b52203ef6a7382d0264cb9db1da922d91034bb8f04bde09" dmcf-pid="pWTU9OzTWo" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="어썸레이가 개발한 펠리클 멤브레인 장비" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135419724mrqe.jpg" data-org-width="500" dmcf-mid="fdW4eHP3lQ" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135419724mrqe.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 어썸레이가 개발한 펠리클 멤브레인 장비 </figcaption> </figure> <div contents-hash="dd834f40cbde9bfbedc80be064b9082aae37dff58ef6bc61c2317674e69c0be2" dmcf-pid="UYyu2IqySL" dmcf-ptype="general"> <strong>― 경쟁사는 없나요</strong> </div> <p contents-hash="cd336fe2a48bd6ef2ac7c5bd50a50284428ed458c5222cabe98b5d1676ea83fb" dmcf-pid="uGW7VCBWTn" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 네. 핀란드에 있는 카나투(Canatu)라는 회사입니다. CNT를 기반으로 멤브레인을 만드는 회사로, 이쪽만 10년 동안 파온 곳입니다. 그런데 여기는 원재료를 받아서 종이처럼 한 장 한 장 찍어내는 방식이라 불연속 공정이고, 수율이 낮을 것이라 예측됩니다. 저희는 연속 공정, 즉 두루마리 휴지처럼 쭉쭉 뽑아내기 때문에 생산성이 높고, 방식도 한단계 진화한 형태입니다.</p> <p contents-hash="c03a62f88232ae2d33abc56fa7041a442a13945800533e7c45977c04efb675f1" dmcf-pid="7HYzfhbYCi" dmcf-ptype="general"><strong>― 그렇다면 공정 방식에서 이미 차이가 있다는 말씀이시군요?</strong></p> <p contents-hash="058a1938fd847c333c9db2910f537ea9afb1baaf7c6687030bc1294e06fdfa00" dmcf-pid="zXGq4lKGWJ" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 네, 맞습니다. 카나투는 작년에 장비를 팔아서 매출을 올렸어요. 실제로 FST와 TSMC에 각각 80억 원어치(추정치) 장비를 팔았고, 그걸로 북유럽 나스닥 시장에 스팩 상장을 했습니다. 그런데 문제는 그 장비로 만든 소재가 아직까지 퀄리피케이션을 통과하지 못했다는 점입니다.</p> <p contents-hash="0e639784be71660bcfeaae9f281da8322367349c347aad5e5d3736a24e95f6f6" dmcf-pid="qZHB8S9Hld" dmcf-ptype="general"><strong>― 그러면 그 장비가 무용지물이 되는 건가요?</strong></p> <p contents-hash="ef33fbbcb227cc3ecd2d3513257691583b70778a4bb0de6ce934e31f777a7977" dmcf-pid="B5Xb6v2XCe" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 꼭 그런 것은 아니지만, 구조적 문제는 가지고 있습니다. 문제는 펠리클 회사들이 카나투 장비로 만든 소재를 가져다가 테스트하면 문제점을 피드백해줘야 소재 차원에서 개선이 가능한데, 피드백을 주지 않는다는 것입니다. 왜냐면 그 정보를 주면, 카나투가 그걸 가지고 TSMC나 다른 회사에 개선된 소재나 장비를 납품할 수 있기 때문이죠. 그래서 피드백 루트가 막히는 문제가 생긴 겁니다. 아마도 그 부분이 카나투가 소재 판매에서 기기 판매로 방향을 선회한 이유 중 하나일 것으로 추정하고 있습니다.</p> <p contents-hash="6c9318ae7fb4c126ba1f125122b8a68a6797b404ab9f577fe9e1e87105d27cec" dmcf-pid="b1ZKPTVZyR" dmcf-ptype="general"><strong>― 어썸레이는 그런 피드백을 어떻게 받고 계신가요?</strong></p> <p contents-hash="2472a87a5c5e7162fa1074fd1edc1d513240a841e6a215b9846a075c3e4393e4" dmcf-pid="KdREC4rRhM" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 저희는 에스앤에스텍과 상호 독점 계약을 맺고 개발하고 있어요. 저희는 에스앤에스텍에만 CNT 멤브레인 소재를 공급하고, 에스앤에스텍은 저희 소재만 사용하기로 한 거죠. 그 대신, 양쪽에서 서로 피드백을 활발하게 주고받는 구조입니다. 그래서 실제로 저희는 샘플 판매도 진행 중이고, 최근에는 2년 만에 풀 사이즈까지 멤브레인 제작이 완료됐습니다.</p> <p contents-hash="64780a75b7bbd395b373bbe2041d4f9df3ef5b5fe68e047c0e7dbf5943c0fa19" dmcf-pid="9JeDh8mehx" dmcf-ptype="general"><strong>― 올해부터 매출이 실제로 발생하는 건가요?</strong></p> <p contents-hash="9ed2d427dd412920f7f5c08464f761091233cf7d732a608788220df0e769b68a" dmcf-pid="2idwl6sdCQ" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 네, 맞습니다. 펠리클 회사가 내년에 납품을 하려면, 올해부터 소재 발주를 넣어야 하니까요. 이미 쿠폰 사이즈나 하프 사이즈 기준 샘플은 판매하고 있었고, 올해는 풀 사이즈 기준으로 본격 계약이 들어갈 예정입니다. 그러면 올해 일부, 내년에 본격 매출이 나오게 됩니다.</p> <div contents-hash="5a979c6b9633acda3c3aba2faa74a20331e3d22969714d92e85910878ee99356" dmcf-pid="VnJrSPOJCP" dmcf-ptype="general"> <div> <strong>수율 좌우하는 ‘50nm 초박막’ 전쟁</strong> </div> </div> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="e29e275665da8f7ab170d416a2d7fc17220cb6573bbf18e7c3d56e495d9b193a" dmcf-pid="fLimvQIiW6" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="어썸레이는 최근 CNT로 110㎜ 크기의 펠리클 멤브레인(얇은 막)을 성공적으로 제작했다." class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135422992qieo.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="PcTH0j5rl4" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135422992qieo.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 어썸레이는 최근 CNT로 110㎜ 크기의 펠리클 멤브레인(얇은 막)을 성공적으로 제작했다. </figcaption> </figure> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="3f84478f456a314315dc2f6be074de791b70b168f3d800eadb0070fba8878b5d" dmcf-pid="4onsTxCnS8" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="CNT 펠리클 멤브레인. 대면적화에는 고난도 작업이 필요하다" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135426381tnmj.png" data-org-width="700" dmcf-mid="xf6oEqNfvV" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135426381tnmj.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> CNT 펠리클 멤브레인. 대면적화에는 고난도 작업이 필요하다 </figcaption> </figure> <div contents-hash="6277f234a5057dbfae6b9a348a7579373788b93046fbef1373836c070b3e5a40" dmcf-pid="8gLOyMhLl4" dmcf-ptype="general"> <strong>― CNT 펠리클 시장 규모는 어느 정도일까요</strong> </div> <p contents-hash="9657bbc51b830bfd133eb4454c6251429266b61d523bf8caee8c6134146cb679" dmcf-pid="6aoIWRloyf" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 하이-NA EUV용 펠리클만 기준으로 보면, 2030년쯤 시장 규모가 약 1조 원 정도로 예상됩니다. 하이-NA에 CNT 펠리클이 적용이 완료되면 현재 가동 중인 로우-NA EUV용 펠리클에도 투입될 수 있고, 그러면 3조 원 규모 시장으로 커질 수 있습니다. 지금 예상으로는 연간 약 5만~6만장 정도의 시장이 형성될 것으로 보고 있습니다. 저희가 가져갈 수 있는 공급 목표를 기존에는 1만 장 정도로 예측했는데, 로우-NA EUV 까지 확장되면 2만 5000장 정도로 두 배 이상 늘어날 거라고 봅니다.</p> <p contents-hash="2b3b8f640007ad2f512e4aa8a837ff9dba788308292a9016a8433b098db72e47" dmcf-pid="PNgCYeSgvV" dmcf-ptype="general"><strong>― 그런데 지금 미쓰이는 어떤 소재를 사용하나요?</strong></p> <p contents-hash="b1556de40dc44c42d08e205c6454b2fe8457a79bb2903e49ab74b62b60274333" dmcf-pid="QjahGdvav2" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 미쓰이는 아직도 실리콘계 소재를 쓰고 있습니다. 그런데 그 소재는 하이 NA에는 못 씁니다. 그래서 미쓰이도 작년에 “우리가 2025년 12월까지 CNT 소재 공장을 짓겠다”고 발표를 했지만 그 공장은 올해 말에나 완공이 됩니다.</p> <p contents-hash="ea457c49763729e0f2bc75ec6816cdaa1fddc05eac5a80b296edef8fd85a5761" dmcf-pid="xANlHJTNW9" dmcf-ptype="general"><strong>― 그러면 하이 NA 장비에 들어갈 펠리클은 누가 가장 먼저 상용화할 수 있는 건가요?</strong></p> <p contents-hash="146d1b71e51bf9ec46f6af863e9369cd57016360d3a1a6018b9ff1477f408607" dmcf-pid="yGW7VCBWyK" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 지금 기준으로 보면, 에스앤에스텍과 어썸레이 조합이 제일 앞서 있습니다. 실제로 에스앤에스텍에서 먼저 연락을 주셨어요. 2년 전쯤, 여러 소재를 테스트해봤는데 결국 다 안 되니까 “CNT 멤브레인 진짜 만들 수 있냐”고 문의가 온 거죠.</p> <p contents-hash="14d36ac19c9f56ace4fb5084e355482c5497d1ed7d14fc34fd0795f6931c805e" dmcf-pid="WHYzfhbYyb" dmcf-ptype="general"><strong>― 그런데 ASML은 왜 펠리클을 직접 안 만들고, 외부에 맡기는 건가요?</strong></p> <p contents-hash="58ec76907123d31e13a1d668d74d3e8d8ea515d8c677c10b1af53bbbfcf5f65d" dmcf-pid="YXGq4lKGWB" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) ASML은 장비만으로도 충분히 돈을 법니다. 그래서 원래부터 주변 장비나 소모품은 외부에 라이선스를 줘요. 이번에도 ASML이 펠리클은 직접 개발하지 않고, 칩 메이커들한테 이렇게 말했어요. “펠리클 없이 쓰다가 기계 문제 생기면 우린 책임 안 진다. 너희가 알아서 개발해서 써라.” 이런 식입니다.</p> <p contents-hash="9322c2d9c55c23c69c80b80b7ac204d79d744612c21893b8462453465484dfdb" dmcf-pid="GZHB8S9Hvq" dmcf-ptype="general"><strong>― 말씀하신 대로라면, 이 소재는 단순히 펠리클뿐 아니라 다른 분야로도 확장 가능하겠네요?</strong></p> <p contents-hash="edc318abed1bb157b27e2daf20c1891ae295a02f3e5fa15f3f5e344d3798a874" dmcf-pid="H5Xb6v2Xyz" dmcf-ptype="general">▶(김세훈 대표) 네, 맞습니다. 저희 CNT 멤브레인 소재는 방열과 전자파 차폐 같은 데도 응용이 가능합니다. 실제로 CNT 물성을 정밀하게 조정한 최적의 소재를 수요처에 공급하고 있기 때문에 다양한 산업으로의 진출이 용이합니다.</p> <div contents-hash="1540652d6ba5ce0cb89f21e7e537e188271031afecebf665c912d4f6db6b209d" dmcf-pid="X1ZKPTVZS7" dmcf-ptype="general"> <div> <strong>2만 5000장 시장…연매출 기대감</strong> </div> </div> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="8347607edf69544a0bcfb7eb5a2fe082bcd8ca705f596f5b8f682af67df6d598" dmcf-pid="Zt59Qyf5Wu" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="삼성전자가 발주한 ASML NXE-3600 EUV장비" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135429234vvmw.png" data-org-width="700" dmcf-mid="ur34eHP3l1" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202504/06/mk/20250406135429234vvmw.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 삼성전자가 발주한 ASML NXE-3600 EUV장비 </figcaption> </figure> <div contents-hash="aebf62e0bda08b10d5309d871d101daa516091d03ef81c911b29f8e5ad566175" dmcf-pid="5F12xW41yU" dmcf-ptype="general"> 하이-NA EUV용 펠리클 시장에서 CNT 소재가 대세가 될 것이라는 인터뷰 내용입니다. </div> <p contents-hash="6be2f9512214b334dea8cf4c344d80f42036db4a71b1194075b036cc63228e1a" dmcf-pid="13tVMY8tvp" dmcf-ptype="general">CNT는 탄소 기반 육각형 구조(그래핀 시트가 튜브 형태로 말린 구조)이기 때문에, 800℃ 이상의 고온에서도 안정성을 유지할 수 있습니다. 이는 기존 실리콘계 소재로 만든 펠리클이 400℃ 이하에서 깨지는 것과는 비교가 안 되는 내구성인데요. CNT는 인장 강도가 강철보다도 수십 배 이상 강한 것으로 알려졌습니다.</p> <p contents-hash="81270f5bdfa8660ef43fa405d761ac0a637b77e01e7a8063376adf3f8e915645" dmcf-pid="t0FfRG6FS0" dmcf-ptype="general">펠리클은 얇고 넓은 면적에 압력과 진동을 견뎌야 하는 구조인데, CNT는 얇으면서도 찢어지지 않는 성질을 가졌습니다. 이와 함께 CNT는 자외선(UV) 투과 특성이 뛰어납니다.</p> <p contents-hash="dcddaf6568cbeec3b5ad437844aa0d1bc7a03c2f7a15307ebbd0320e7d57f6b9" dmcf-pid="Fp34eHP3W3" dmcf-ptype="general">다만 단점도 있습니다. CNT는 나노 단위의 튜브 구조가 무작위로 자라는 성질이 있습니다. 그래서 넓은 면적에 균일하게 배치하고 정렬하는 것이 매우 어렵습니다.</p> <p contents-hash="9bb0644a37788cc7cef6d1262dbb3065d509a99511676540b33645a3960deaf3" dmcf-pid="3p34eHP3TF" dmcf-ptype="general">특히 펠리클처럼 110mm x 144mm급 풀사이즈의 균일 멤브레인을 만들려면, 투과율 편차(0.4% 이하)까지 제어해야 하므로 고도의 공정 기술이 필요한 셈입니다.</p> <p contents-hash="81fccb433b49a4c10bd4f2c263b6c1cc9c280c09e28c781e9f79700b352fd239" dmcf-pid="0U08dXQ0Ct" dmcf-ptype="general">많은 연구소나 기업이 소형 사이즈(쿠폰 사이즈)까진 성공하지만, 풀 사이즈로 균일하게 만드는 건 어렵다는 설명입니다.</p> <p contents-hash="af77b0c7dd9ca0acb9fb935fc1e8d8a2026242c69ce8bf5bfa05d21e9a6dd583" dmcf-pid="pup6JZxpl1" dmcf-ptype="general">또 CNT 멤브레인을 펠리클용으로 쓰려면, 플라즈마 처리, 나노 코팅, 파티클 제거 등 여러 후처리 공정도 동반되어야 합니다. 아울러 CNT 멤브레인 필름은 50nm 이하의 초박막입니다.</p> <p contents-hash="4265e64b683e78a6b0093f6ff4e7bf6e313f435e51bea07985bcb16bff9af094" dmcf-pid="U7UPi5MUS5" dmcf-ptype="general">이 정도면 사람 머리카락의 1000분의 1 수준인데요. 이런 얇은 필름은 감아서도, 접어서도 운반이 불가능합니다. 진공상태 또는 고정 틀에 고정해서 사람이 들고 운반해야 하는 수준입니다.</p> <p contents-hash="00a9214e2b206bf284cac62978f7db57f2a3b9d8c21e2638f69c8f88fe171a48" dmcf-pid="uzuQn1RuWZ" dmcf-ptype="general">반도체라는 산업이 미세의 세계로 진입하면서 이제는 눈에 보이지 않는 세계를 발견하고 구현하는 과정이 갈수록 중요해지는 대목입니다.</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 매일경제 & mk.co.kr. 무단 전재, 재배포 및 AI학습 이용 금지</p> 관련자료 이전 콘솔게임, 스위치2로 개편…국내 업계도 주목 04-06 다음 경기도청, 군산새만금마라톤 7년 만에 ‘정상 질주’ 04-06 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
