'녹여서 뚫는다' 레이저앱스, 유리기판 TGV 신기술 개발 작성일 05-08 123 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="K2zsOYzTw3"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="e30d1b1363a7cadce0129d21cd98ce2eb94d87f5832de2d3b10941300326ffc9" dmcf-pid="9VqOIGqyDF" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="레이저앱스 멜팅 TGV 홀 이미지" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202505/08/etimesi/20250508160132387yyeu.png" data-org-width="527" dmcf-mid="qeh86nsdrU" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202505/08/etimesi/20250508160132387yyeu.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 레이저앱스 멜팅 TGV 홀 이미지 </figcaption> </figure> <p contents-hash="1d34aa7f471624ccb228897f30128bf7a5127488d6fc0600673aafd9b3e0caae" dmcf-pid="2fBICHBWEt" dmcf-ptype="general">플라즈마 융해(멜팅)를 활용한 반도체 유리기판 신공정 기술이 개발됐다. 유리기판 핵심인 '글라스관통전극(TGV)'을 균열없이 구현하고 전기적 특성을 끌어올릴 것으로 기대돼 주목된다.</p> <p contents-hash="7003fd4de5bcf0beb7b79ada5e09e199355d78c1cc1d679c92dbfab6a715109d" dmcf-pid="V4bChXbYE1" dmcf-ptype="general">레이저앱스는 플라즈마 멜팅 레이저 기반으로 반도체 유리기판 글라스관통전극(TGV)을 형성하는 기술을 개발했다고 8일 밝혔다. 유리 내부에 융해점(멜팅 스팟)을 형성, 구멍을 뚫는 원리다.</p> <p contents-hash="b62a8c1370e07b6835ed485bce74ae63dd8b379af75994ed8832cdf28067cf71" dmcf-pid="f8KhlZKGI5" dmcf-ptype="general">반도체 유리기판을 만들려면 TGV 공정이 필수다. 유리 위·아래로 구멍을 만든 후 구리를 채워 신호를 전달하는데, 이 TGV 구멍을 형성하는 기술 난도가 매우 높다. 이상적인 형태로 원(진원도)을 만들어야 하고, 구멍 내벽도 제어해야 해서다. 구멍 모양이 제대로 잡히지 않으면 구리를 채우는 도금 공정을 진행할 수 없다. 또 막힌 구멍이나 구멍 주변에 미세 균열도 없어야 한다. 보이지 않는 미세 균열은 공정 중에 유리 기판 깨짐이나 들뜸·찢어짐(세와레)을 야기할 수 있다.</p> <p contents-hash="c5be4a05b75d4777af8517f453093739f4db9859d7b886a30e48e7c515d180f6" dmcf-pid="4BpDwvphIZ" dmcf-ptype="general">레이저앱스의 플라즈마 융해는 유리 내부에 녹는점을 만들어 매끈하고 안정적으로 TGV 구멍을 만든다. 공법 원리상 유리 내부 결함으로 인한 불량을 최소화할 수 있다는 게 회사 측 설명이다. 구멍 모양 뿐 아니라 내벽 상태도 유리기판 공정에 최적화할 수 있다고 강조했다.</p> <p contents-hash="f2e5e23cb4787bd24316b05dc4a9aaece906e8f3c982ef9e3a7478d4f48dbddd" dmcf-pid="8bUwrTUlEX" dmcf-ptype="general">전은숙 레이저앱스 대표는 “TGV 구멍의 내벽은 전기 신호를 전달하는 특성을 확보하는데 매우 중요하다”며 “신기술을 적용하면 도금 공정에서 발생하는 빈 공간(공극)을 줄일 수 있어 전기적 특성 확보에 유리하다”고 말했다.</p> <p contents-hash="873b4c64ad9462f75a91b8f7c1464acd2561a8c57a355de0e96b01454130027c" dmcf-pid="6KurmyuSrH" dmcf-ptype="general">레이저앱스는 유리 소재 식각 전문 업체 이코니와 협력 테스트한 결과, 0.14밀리미터(㎜) 두께 유리기판에 50마이크로미터(㎛) 크기 TGV 구멍을 안정적으로 구현했다고 전했다. 현재 TGV는 레이저로 구멍 틀을 잡고 식각(에칭)으로 구멍을 완성하는 방식이 주류다. 또 한국공학대 공용장비지원센터분석 결과를 통해 기술 성과를 확인했다고 회사는 부연했다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="3aad4dd6bd7017c50ae4adb8e6f3da9552b5d241887fd2c7c0614aed40d4de79" dmcf-pid="P97msW7vEG" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="레이저앱스 멜팅 TGV 분석 데이터" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202505/08/etimesi/20250508160133950vyux.png" data-org-width="700" dmcf-mid="BrvQxgCnwp" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202505/08/etimesi/20250508160133950vyux.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 레이저앱스 멜팅 TGV 분석 데이터 </figcaption> </figure> <p contents-hash="0ac5b9374ea139d4d45a6296ab088ae1bdd435a256329c3e3559c732e8318a7a" dmcf-pid="Q2zsOYzTIY" dmcf-ptype="general">회사는 기존에 확보한 레이저 절단 기술에 더해 이번 TGV 기술을 신성장 동력으로 삼을 계획이다. 앞서 레이저앱스는 플라즈마 융해 방식으로 유리기판을 절단하는 장비를 개발한 바 있다. 절단 후에도 유리가 깨지지 않고 연마 공정을 추가할 필요가 없어 생산성을 대폭 끌어올리는 장비다. 다수 반도체 유리기판 제조사가 레이저앱스 장비로 시제품을 개발하고 있다.</p> <p contents-hash="32c1e42065889d2e3aa99882c6eda8b699396f662789e3b672b874fedd341408" dmcf-pid="xVqOIGqysW" dmcf-ptype="general">전 대표는 “TGV 신기술에 대한 특허 출원 등 지식재산권도 확보한 상태”라며 “신기술을 기반으로 반도체 유리기판 TGV 공정 장비 개발도 이어나갈 것”이라고 밝혔다.</p> <p contents-hash="9cfb70e9bed4f575f2708a5320ae365b7f9d54f1107eb6c75c6334404d1af3d3" dmcf-pid="yID2VeDxIy" dmcf-ptype="general">레이저앱스는 지난 4월 전자신문 주최로 개최한 '데크데이 : 반도체 유리기판의 모든 것' 콘퍼런스에 참여, 플라즈마 레이저 기반 반도체 유리기판 가공 기술을 소개한 바 있다. 당시 레이저앱스 발표는 뜨거운 관심을 받았다.</p> <p contents-hash="76c4ef713a73bae481dfd9e2dba8f9da6a0cbd785574f94af3eef7449c4116de" dmcf-pid="WCwVfdwMrT" dmcf-ptype="general">전자신문은 콘퍼런스 발표와 자료를 보고 싶다는 요청이 많아 다시 볼 수 있는 온라인 영상 서비스를 준비했다. 레이저앱스 뿐 아니라 제이더블유엠티(JWMT), 이노메트리, 에스디옵틱스, 와이씨켐 등 반도체 유리기판 상용화를 위한 주요 기업들의 기술 역량을 확인할 수 있다. 영상은 유료로 이달 23일까지 제공되며, 신청은 전자신문 홈페이지(www.sek.co.kr/2025/techday-v)에서 확인할 수 있다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="17f5b44d4d309e3f63b34770f0c8c249fc9dd30f5ba8ce04fed1e56eb6c92e15" dmcf-pid="Yhrf4JrRwv" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="반도체 유리기판 혁신의 현장 다시보기" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202505/08/etimesi/20250508160135311irhp.png" data-org-width="700" dmcf-mid="bygu74g2E0" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202505/08/etimesi/20250508160135311irhp.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 반도체 유리기판 혁신의 현장 다시보기 </figcaption> </figure> <p contents-hash="0d4e49c39cb29fc13f35b5c875e8b142d26f5f19b2011e0e80dd80cf6d9c1a1a" dmcf-pid="Glm48imemS" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 ‘♥정경호 눈 감아!’ 최수영, 술 대신 공명 입술…키스 작렬 (금주를 부탁해) 05-08 다음 충남도, 해양레저관광박람회서 지자체 부문 해양레저관광 대상 05-08 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
